中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #293621540 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscanは、包括的なテスト機能と高精度を提供するウェハテストおよび計測機器です。このシステムは、製品のパフォーマンスを最適化し、歩留まり損失を最小限に抑えるために使用される重要なデータをユーザーに提供するように設計されています。KLA 6200サーフスキャンユニットは、特許取得済みのコアラインメント、デュアルレーザーマシン、優れた光学系により、優れた性能を誇り、ダイサイズ、ピッチサイズ、およびオリエンテーションの範囲で5ミクロン以内に正確な優れたウェーハアライメント、軸および放射線測定を提供します。このツールは、毎秒400以上のフルフィールド測定を実行することもできます。このアセットは、EikonixPegasus計測制御ソフトウェアを介して堅牢なプロセス制御を提供します。これにより、ユーザーは特定のパラメータを設定し、包括的なフィールド、線形、1D、プロファイル測定を実行できます。このソフトウェアは、高度なプロセス能力と歩留まり解析のための強力な分析ツールも提供しています。TENCOR 6200サーフスキャンモデルは、最も困難なプロセスとアプリケーションのニーズを満たすために、一連のウェーハプロービング機能を提供します。ベクトルプロービングとダイ認識機能により、欠陥検出、歩留まり解析、加速データ解析が向上します。また、最高（100mm）の感度を備えた業界トップクラスの測定スループットを提供し、アライメント時間を追加することなく、最大2000フィールド/秒の感度を提供します。また、高電圧、低電圧、HSOT、 E-Beamsなどの完全なOPC測定を提供します。また、3D Critical Dimension （3DCMAD）測定も提供しています。これは、金属膜の測定と回折限界以下の特徴のイメージングを可能にする技術です。6200サーフスキャンの最大測定速度は毎秒1フィールドで、ISOとSEMIに準拠しています。要約すると、PROMETRIX 6200 Surfscanシステムは、ユーザーに堅牢なプロセス制御と高速で正確な測定を提供する最先端のウェーハテストおよび計測ユニットです。その高度な技術と広範なプロービング機能により、幅広い半導体試験アプリケーションでの使用に最適です。