中古 KLA / TENCOR PHX DF 5.0 #293660076 を販売中

KLA / TENCOR PHX DF 5.0
ID: 293660076
ウェーハサイズ: 18"
ヴィンテージ: 2008
Load port, 18" 2008 vintage.
KLA PHX DF 5。0は、半導体製造における高精度の結果を提供するように設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、市場で利用可能な最高レベルの解像度と精度の一部を提供するように設計されています。TENCOR PHX DF 5。0は、マルチカメライメージングアーキテクチャを利用しています。この複合イメージングユニットは、高速カメラと高感度CCDチップを組み合わせることで、ウェーハ全体を完全に視野に収めることができます。高速カメラは、ウェーハ全体にわたって高いフレームレートを実現し、精密かつ詳細な検査と計測を可能にします。さらに、KLA/TENCOR PHX DF 5。0は、高度な照明および照明システムを備えており、シャープでコントラストのある画像を可能にします。この精度は、高度な臨界寸法(CD)測定および欠陥特性評価に最適です。このマシンはまた、効率的な操作のための最先端の自動化ツールを備えています。このアセットには、最新の高度なパターン認識および画像処理アルゴリズムが含まれており、高解像度の自動ウェーハ検査が可能です。自動化されたモデルは、高速イメージングと組み合わせて、優れた欠陥検出機能を提供します。この装置は、従来の検査方法では検出できない極めて小さな欠陥を検出することができます。さらに、システムにはプロセス制御システムが統合されており、必要に応じてプロセスの最適化と迅速な是正措置が可能です。KLA PHX DF 5。0には、欠陥の正確かつ詳細な分類を可能にする高度な特性評価アルゴリズムも装備されています。このユニットは、柔軟なパラメータ設定を可能にし、最も複雑なウェーハでも徹底的な特性評価と分析を可能にします。また、統合された計測機能を備えており、正確な3Dトポグラフィ測定が可能です。さらに、このマシンには内部解析モジュールがあり、ウェーハ欠陥のリアルタイム特性評価が可能です。全体として、TENCOR PHX DF 5。0は強力で堅牢なウェーハテストおよび計測ツールであり、正確で忠実度の高い結果を提供します。高度なイメージング、オートメーション、計測機能により、迅速で信頼性の高い高解像度のウェーハ検査が可能であり、最大のプロセス制御と最適化を可能にします。
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