中古 KLA / TENCOR P2H #9093855 を販売中
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ID: 9093855
Long scan profiler, 254 x 254 mm
Measures: Roughness, Waviness, Topography (TIR, Height, Average height)
Scan length: 210 mm
Scan speed: 1 um/sec to 25 mm/s
Scan method: moving stage, stationary stylus
Stylus control:
Programmable force: 1-100 mg ± 0.1 mg
Full retract between scans
Programmable descent rate
Measurement control:
Manual / Single scan mode
Keylock with (3) modes
Repeat and average mode
Automatic sequence mode
Sample handling:
Motorized XY
Max sample size: 254 x 253 mm
Sampling rate: 50, 100, 200/s nominal
Vertical range: ±6.5 um at 1A resolution, ±150 um at 25A resolution
Vertical linearity, entire range: ±0.5%
Horizontal resolution: 0.01 um at 1 um/sec scan speed
Step height repeatability:
13 um range: 0.001 um (10A) max standard deviation
300 um range: 0.005 um (50A) max standard deviation
Base line stability:
Time: 0.02 um (200A) max TIR for a 100-s scan
Distance: 0.2 um (2000A) max TIR on a profile length of 130 um verified on a 1/20 optical flat
Data storage:
HD: 40 MB
Diskette: 1.4 MB on 3.5" Disk
DOS operating system
Tencor P-2 Program
Recipes
Data Analysis:
Interactive graph
Delta Average mode
Zoom box data expansion
Data catalog
Database manager option
Metric or English units.
KLA/TENCOR P2Hは、業界で最も厳しい業界仕様と要件を超えるように設計された最先端の完全統合ウエハテストおよび計測機器です。ウエハサイズは直径200mmまで対応可能で、高度なオートメーションソフトウェアと独立したサブシステムにより、複数のデバイス技術を生産するラボやファブに最適なソリューションです。このシステムは、データ収集ユニット（DAS）、検査装置（IS）、計測ツール、総測定資産（TMS）の4つのコンポーネントによって駆動されます。DASは、パフォーマンスパラメトリックと半導体デバイスおよび機器の他のコンポーネントとのインタフェースからのテスト出力をキャプチャする自動データ収集モデルです。ISは強力な自動検査システムで、テスト中のデバイスの迅速で仕様に準拠した画像解析と特性評価を提供します。また、検出、分類、測定、パターン認識、着色などのさまざまな画像評価を提供します。Metrology Unitは、デバイス寸法測定、電気パラメータ、欠陥特性評価、故障解析のための包括的な計測ソリューションです。さまざまなパラメータや材料属性を正確に測定する高度な分析機能を提供します。TMSは、さまざまなサブシステムによって収集されたデータを包括的に管理することができ、ユーザーはウェーハの品質とデバイス全体の特性を迅速に評価することができます。KLA P-2Hは、最新のウエハテスト技術を特長とし、精度と再現性を最大化し、生産性を最大化するように設計されたハードウェア、ソフトウェア、システムを統合しています。すべてのシステムは最適化された形式で組み込まれ、データ取得と分析の速度と精度を向上させ、全体的なサイクルタイムを短縮します。また、品質欠陥検出のための最先端の方法、最適な結果を得るための自動チューニング技術、信頼できる結果を保証するための統計的品質管理プロセスを備えています。さらに、TENCOR P 2Hマシンはユーザーフレンドリーに設計されており、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス、さまざまなサブシステムとコンポーネントの完全な制御、およびパフォーマンスの進行状況を表示するライブモニタリング機能を備えています。セキュリティコントロールとデータ保護プロトコルも安全で安全な操作のために設置されています。TENCOR P 2 Hは、プロトタイピングと大量生産のウェーハテスト環境の両方に適したツールであり、最高のパフォーマンス、再現性、信頼性を提供します。計測と画像解析の包括的な機能、使いやすい設計、および製造時間を大幅に短縮する機能を備えているため、最新の半導体ラボやファブに最適なツールです。
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