中古 KLA / TENCOR P2 #9291906 を販売中

KLA/TENCOR P2は、ウェーハエッジおよびセンター測定用に設計された高度なウェーハテストおよび計測機器です。ウェーハ表面検査、ウェーハ欠陥解析、ウェーハ形状測定、ウェーハ材料検証など、計測情報処理の自動化ソリューションをユーザーに提供します。このシステムは、高度なレーザーベースのウェーハエッジ検出ユニット、高度なウェーハメトロジー（AWM）技術を使用して、ウェーハエッジの位置を正確に監視し、形状や形状の偏差を検出し、ウェーハのエッジ特性の変化を定量化します。また、高度な光源計測技術を統合して、ウェーハの表面地形を検査および測定します。機械の一部として、赤外線レーザーとイメージングカメラを使用して、表面材料組成の変化を特定し、傷や表面欠陥などの欠陥を検出します。このツールから得られた追加の計測情報には、金属ラインと3Dプロファイルのプロセス制御データ、ウェーハの清浄度に関する情報、ウェーハの平坦度の測定、表面特性のマッピング、および表面粗さの検査が含まれます。これにより、歩留まり性能を含むウェーハ製造プロセスの包括的なデータセットを取得できます。表面欠陥の検出に加えて、アセットはまた、3次元でウェーハ形状を測定するために、他のアルゴリズムの範囲を統合します。これにより、ウェーハ形状や寸法の違いを正確に定量化し、平坦度、ウェーハエッジの変形、断面積などの測定ウェーハからメトリックデータを生成できます。このモデルは、リアルタイム測定を視覚化するための統合されたグラフィカルユーザーインターフェイスからさらに利点をもたらします。これにより、ユーザーは現在のテストデータをすばやく表示し、過去のデータを確認して機器のパフォーマンスを完全に把握することができます。このシステムは、さまざまなデータ出力フォーマットと互換性があり、異なるマシン間のデータ共有とコラボレーションを容易にすることができます。結論として、KLA P-2は高度なウェーハテストおよび計測ユニットであり、ユーザーはウェーハの表面と形状を正確に監視し、プロセス制御データを導出するためのユーザーフレンドリーで自動化されたソリューションを提供します。ウェーハ製造プロセスの現状を把握し、欠陥の低減と品質管理を支援します。