中古 KLA / TENCOR P2 #9281925 を販売中
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ID: 9281925
Long scan profiler
Configuration:
Sample size: 254x254 mm
Standard head & 5µm stylus
Standard range: Microhead with 1 - 50mg force
Scan length: 205mm
Scan speed: 1µm~25mm/sec
Step height repeatability
Motorized X-Y stage
Rotary stage:
Angle: 0-360°
Resolution: 0.1°
Anti vibration table.
KLA/TENCOR P2ウェーハ試験および計測装置は、IC製造および試験用に特別に設計された自動走査型電子顕微鏡(SEM)です。このシステムは、基板ウェーハ上のナノスケールの特徴をイメージングし、品質、均一性、および一貫性に関して死ぬことができます。KLA P-2は、厳格なプロセス制御と体系的な欠陥解析用に特別に設計されており、最も堅牢で信頼性が高く再現性の高い性能を備えています。TENCOR P 2は、産業用ウエハと金型アプリケーションの両方で多数のデバイスを迅速かつ正確に分析するために必要な光学部品と電子部品を備えています。P-2は、高精度で再現性のあるインコンテキストおよびダイレベルの画像、測定、カウントを取得できます。WaferSense®エレクトロニクスは、TENCOR P2の内部メカニズムに統合され、イメージング前に試験条件を自動的に設定および校正します。これにより、ヒューマンエラーを排除し、テストの分解能と精度を大幅に向上させることができます。また、わずか数分でテストを完了できるため、ウェーハとダイをテストできる速度も向上します。KLA/TENCOR P-2には、優れた画像透明性と信号対ノイズ比を提供する革新的な画像検出器も装備されています。この最先端のCCD検出器は、画像パラメータを自動的に調整し、解像度を向上させ、異なるデバイス機能間のコントラストを向上させます。このユニットは、検査および測定作業のための半自動および自動レシピを構築することもできます。これにより、手動プログラミングを排除し、手動でコーディングレシピに関連するヒューマンエラーを排除することができます。KLA P2には、取得したすべてのデータも保存されています。要するに、KLA P 2マシンは強力で信頼性が高く、正確な自動走査電子顕微鏡ツールです。IC製造および試験アプリケーションの広範囲にわたる厳格な許容プロセス制御および体系的欠陥解析用に設計されており、最新のイメージングおよび測定機能を備えています。そのWaferSenseエレクトロニクスと高度な照明機能は、無敵の解像度と正確さを保証し、自動レシピ機能は静かに資産を完全に制御します。このように、P 2は半導体産業におけるデバイスの歩留まりと品質保証を最適化するための理想的なツールです。
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