中古 KLA / TENCOR P2 #9252431 を販売中

KLA/TENCOR P2は、ウェーハの物理特性の特性評価と可視化を可能にする、洗練されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、光と暗視の両方の画像を測定する機能を備えており、ウェーハの地形を広範囲にわたって詳細に表示することができます。また、粒子欠陥レベルだけでなく、原子力と臨界次元の両方を分析する能力を持っています。KLA P-2には、高解像度および高感度検査のための複合顕微鏡/走査電子顕微鏡（SEM）チャンバーも含まれています。このユニットには、Photon Scanning Tunneling Microscopy （PSTM）とAutomated Shaped Defect Detections （ASDD）という2つの主要な測定プロセスが含まれています。PSTMは、基板表面からのトンネリング電流と浸漬光学から放出されるレーザービームを組み合わせて、表面トポロジを最も正確に解析することができます。これはまた顕微鏡に最も精密なイメージングのための最高の決断の欠陥を与えます。一方、ASDDプロセスにより、暗い領域と明るい領域の両方の欠陥を高速で自動検出できます。大容量・小容量の両方の形状・靭帯の欠陥を検出することができます。TENCOR P 2のダークフィールドモードでの卓越した均一な照明は、ウェーハへのバックグラウンド信号漏れを抑制し、最高の検出スループットと可能な限り最高の画像コントラストを保証します。また、4x〜128xのマッピング機能とMTF測定機能を備えており、ウェーハの最も正確な特性評価を可能にします。さらに、最新のウェーハ試験および計測機として、KLA/TENCOR P 2は、デバイスの電気特性に影響を与えることなく厚さ測定を行うことができます。さらに、このツールは人間工学的ユーザーインターフェイス（EUI）で構成されています。EUIは、簡単かつ自動化されたデータ変換と分析、ならびに簡素化された機器の操作と制御を可能にします。さらに、TENCOR P-2には、ウェーハとその部品の効率的な分析に役立つように設計された多数の統合ツールがあります。最も重要なのは、オートフォーカス、ウェーハステッチ、粒子認識、欠陥分類アルゴリズムです。TENCOR P2は、半導体業界におけるプレミアムクラスのウェーハ試験および計測システムです。優れた測定および検出機能、自動化されたデータ変換および分析、および強力な制御ツールの範囲の組み合わせにより、ユーザーは最高の精度と精度でウェーハを表示、検査、分析することができます。