中古 KLA / TENCOR P2 #9205754 を販売中

KLA / TENCOR P2
製造業者
KLA / TENCOR
モデル
P2
ID: 9205754
ウェーハサイズ: 6"
Surface profiler, 6".
KLA/TENCOR P2は、ウェーハトポグラフィの検査および分析に使用されるウェーハテストおよび計測機器です。このシステムは、迅速かつ明確な結果を得るための自動最適化と故障解析の組み合わせを提供します。現在入手可能な最も先進的なウェーハメトロロジーユニットであり、独自のイメージングおよびパターン認識技術を使用して、正確な3次元測定データを取得しています。KLA P-2イメージングマシンは、紫外線マイクロチャネル板、電子ビームカラム、電子光学カラムなどの高度なイメージング技術を使用しています。結果として得られた画像は、参照構造と比較して解析され、自動欠陥検出のための詳細なウェーハトポグラフィーの開発と相関しています。このツールには自動ウェハ検査プロセスも含まれており、ウェハを迅速かつ正確に検査することができます。この資産には、ウェーハ表面からのフィードバックを正確に測定するために、温度と湿度範囲を調整できる気象チャンバーが装備されています。TENCOR P 2計測モデルは、データ分析、統計プロセス制御(SPC)、およびデータ可視化のための高度なソフトウェアツールのセットを備えています。SPCソフトウェアは、ウェーハ表面の地形の変化や試験結果の不規則性などの傾向を検出することができます。データビジュアライゼーションソフトウェアは、テスト中に収集されたデータの概要を提供し、アナリストが直感的で有益な図を簡単に作成できるようにします。KLA P2装置はまた、高解像度でデータを分析するために使用される高速、低エネルギー超音波信号ジェネレータを備えています。これにより、ウェーハ表面の欠陥を正確に分析および測定することができます。また、ウェーハ表面の平坦度を測定できるレーザー干渉計や、ウェーハ地形の欠陥を測定するシステムも搭載しています。P2プラットフォームの全体的なアーキテクチャは、自動化、柔軟性、拡張性を考慮して設計されています。これは、複数のテスト、複数のウェーハ、および複数のプロセス条件に対応できる堅牢な計測ユニットです。そして、マシンは完全にカスタマイズ可能であるため、特定の顧客のニーズに合わせて調整することができます。KLA/TENCOR P-2のすべての機能は、信頼性の高い包括的なウェーハテストおよび計測ツールを提供し、あらゆるアプリケーションに正確な結果を提供します。革新的な設計と先進的な技術により、ウェーハ分析と故障解析のための貴重なツールです。
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