中古 KLA / TENCOR P2 #9100966 を販売中

KLA/TENCOR P2は、半導体生産プロセスにおけるウェーハの電気特性を評価するために使用されるウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、サンプルホルダー、テストヘッド、照明サブシステム、計測サブシステム、ソフトウェアインターフェイス、およびデータ収集および分析モジュールで構成されています。サンプルホルダーは、装置にウェーハを取り付け、試験中に所定の位置に保持します。テストヘッドは、電気試験プロセスが発生する場所です。テストヘッドには、統合された電源、デジタル信号プロセッサ、および一連のウェーハプローブが含まれています。この電源により、プローブはウェーハに所定の電気信号を供給することができます。デジタルシグナルプロセッサは、テストプロセス中に収集されたデータに応じて信号を変更するために使用されます。照明サブシステムは、画像処理に必要な照明を提供します。ウェーハの均一な照明を提供する光源とレンズで構成されています。計測サブシステムには、ウェーハの画像をキャプチャするイメージングデバイスが含まれています。ウェーハ表面の拡大画像またはリアルタイム画像を提供するように構成することができ、抵抗、静電容量、破壊電圧などの電気特性を測定することもできます。ソフトウェアインターフェイスにより、ユーザーは単位パラメータを制御し、後処理のために収集されたデータを保存することができます。機械の測定および制御パラメータを設定し、試験シーケンスを開始し、データ取得と分析を管理するために使用されます。データ収集および分析モジュールは、ウェーハ試験プロセスから収集された生データを処理し、結果を詳細に分析してレポートを生成するために使用されます。最後に、KLA P-2には、すべての結果が正確で信頼性の高いものであることを保証するための一連の診断ツールが含まれています。欠陥検出ツールと異常検出ツール、品質保証資産のテスト、生産プロセスの最適化のための歩留まり分析モデルなどがあります。全体として、TENCOR P 2はウェーハテストと計測のための包括的なソリューションを提供します。優れた性能、精度、信頼性を提供し、効率的で信頼性の高い生産プロセス制御を保証します。