中古 KLA / TENCOR P2 #293800218 を販売中

KLA/TENCOR P2は、最も要求の厳しいウェーハ製造アプリケーションに最適化されたウェーハ試験および計測機器です。高解像度画像、高速スキャン速度、小型サイズの包括的な検査および測定機能を提供します。KLA P-2は、非接触計測測定により、非均一に薄くなったウェーハや薄膜を定量化するとともに、レーザー干渉計およびミクロンレベルの座標測定機（CMM）機能を提供します。このシステムは、走査型電子顕微鏡（SEM）イメージングを使用して、地形にアクセスし、欠陥を検出します。TENCOR P 2は、スループットとパフォーマンスを最適化するための高度なハードウェアおよびソフトウェア技術で設計されています。ユニットの光学系は、ウェーハサイズと寸法の範囲に対応するように調整可能です。Scanning Electron Beam （SEB）は、最高解像度の画像と測定を得るように設計されています。分光計は、スペクトルを取得し、3D測定を行うための自動化された機械であり、高速かつ正確な特性評価のために複数のモーダルセンシングを採用しています。TENCOR P2のハイエンド制御ソフトウェアには、クラスタツールの自動化、自動サンプル認識、工場全体の統合ツールなどの機能が含まれています。高度なソフトウェアはまた、サンプル偏心の影響を最小限に抑える自動アライメントと歪み補正を提供します。この洗練されたソフトウェアは、同じサンプル上の複数のサイトから測定を取得するプロセスを自動化します。TENCOR P-2は、ソフトウェアのMAM （Multi Wavelength Amplitude Modulation）技術を使用して、薄層、ウェーハ、薄膜を同時に測定することができます。この技術は、正確で再現可能な結果を提供することにより、測定の不確実性を低減することができます。簡単な表示とデータ転送を容易にするために、このツールはまた、HDTVカメラとDataBridgeソフトウェアのサポートを統合します。DataBridgeは、インラインデータの転送と解析を可能にし、分析の精度と速度を向上させます。これにより、意思決定とプロジェクト完了の迅速化が可能になります。P-2は、高速、正確、再現性の高いパフォーマンスを実現するために最適化された高度なウェーハテストおよび計測ソリューションです。最先端のハードウェア、ソフトウェア、センサーを備え、幅広いウェーハ製造アプリケーションにおいて、検査および測定に最適な速度と精度の組み合わせを提供します。