中古 KLA / TENCOR P17 #293824839 を販売中

KLA/TENCOR P17は、ウェーハ構造の自動計測用に特別に設計された強力で自律的なウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、メインメトロロジーユニットとサンプル包装制御ユニット（SPCS）の2つのコアコンポーネントで構成されています。KLA P-17は、300mm、 200mm、 150mmのウェーハに自動化された高精度の計測を提供します。主な計測ユニットは精密スキャンステージであり、ハイパースペクトルイメージング技術を使用してウェーハを正確に整列させてから撮影することができます。スキャンステージは、特定の範囲のウェーハをスキャンするように設定できるだけでなく、最適な性能のためにその速度を調整するために、高速、低ノイズのリニアサーボモータによって配置および動作されます。先進のCCD/CMOSセンサーと振動抑制型スキャンステージを採用し、再現性の高い高解像度解析を実現します。TENCOR P 17には、サンプルの準備と制御のための高度なサンプル包装および制御ツール（SPCS）も含まれています。SPCSは複数のウェーハの高速ロードとアンロード、サンプルマッピングとアライメント、ウェーハメトリックの保存と検索を可能にする複数のコンポーネントを組み合わせています。SPCSは、複数のウェーハを安全にパッケージ化してから、計測ユニットに密閉して輸送することができます。さらに、SPCSには、温度依存のウェーハ測定を可能にする特殊な温度制御が含まれています。KLA P17資産は、ウェーハ結果の画像取得、分析、報告に高度なソフトウェアを使用しています。このソフトウェアは、高精度の測定を提供し、データ分析のためのツールやビューの範囲を提供しています。さらに、KLA/TENCOR P-17を使用すると、カスタム分析スイートとレポート形式を簡単に定義でき、トラブルシューティングの迅速化とウェーハ分析の効率化が可能になります。品質と正確な結果を保証するために、P17モデルには複数のレベルの冗長性と信頼性の高いデータ管理機器が含まれています。このシステムにより、ユニット全体の稼働時間が最大化され、ウェハテスト結果が機械故障時に安全に保管およびバックアップされることが保証されます。全体的に、P 17ツールは、ウェーハ処理のための自動化、柔軟性、正確な計測を提供します。高度な計測技術、サンプルパッケージと制御、カスタマイズ可能な分析ツール、堅牢なデータ管理機能を組み合わせることで、TENCOR P-17はあらゆるウェーハ処理施設にとって不可欠なツールとなります。