中古 KLA / TENCOR P16+ #9398371 を販売中

KLA/TENCOR P16+は、生産および研究アプリケーションの両方のために設計された高度なウェーハ試験および計測機器です。幅広いパラメータと機能を迅速かつ正確に測定できるため、高度なプロセス制御と開発が可能です。このシステムは、GaAsからSiliconまで幅広い材料を扱うことができ、数分で統計結果を得ることができるパターンおよびオーバーレイ測定を可能にします。このユニットは16インチの視野を持ち、高さの2µm範囲にわたって最大4µm解像度を備えています。また、ウエハプロファイルに含まれる膜厚、構成、その他のパラメータも測定できます。KLA P 16+は、コアスキャンと処理能力に加えて、高生産性を実現するファストバックスキャナを内蔵しています。このスキャナにより、高分解能の表面特性の測定が可能になり、これまで破壊工程でしかできなかったウェハ検査や測定が可能になります。TENCOR P-16+は、拡張機能のために、レーザーや光学系などのさまざまなシステムと統合することができます。Researchモードでは、このツールはさまざまなプロセスのパターニングと修正の資産内測定を可能にするように設計されており、モデルの柔軟性が大幅に向上します。この装置は、大容量スループットのオートパイロット、ウェーハパラメータの自動検査用のオートメーターなど、多くの自動化された機能を備えています。全体として、P 16+は印象的なウェーハテストと計測システムです。基板検査から開発まで、プロセスのあらゆるステップを最適化できるさまざまな機能を備えた、洗練された高性能ユニットをユーザーに提供します。生産環境と研究環境の両方で精密測定とプロセス制御に最適です。