中古 KLA / TENCOR P16+ #9364779 を販売中

KLA/TENCOR P16+は、プロセスの最適化と欠陥検査に使用される高度なウェーハ試験および計測機器です。KLA P 16+は、ウェーハのパラメータと特性の包括的な測定を収集するように設計されています。ロードロック、自動ウェーハハンドラ、統合計測機能を使用して、臨界寸法（CD）、欠陥検査、オーバーレイアライメントなどの重要なパラメータ、およびその他のプロセスパフォーマンスメトリックを測定します。TENCOR P-16+は、CDやオーバーレイなどの重要なパラメータを正確に非接触および非破壊測定できる独自の高解像度光学システムを内蔵しています。このユニットにより、オペレータはウェーハ表面の0。5 mm以下のCDバリエーションを解決できます。これは、他の計測システムの感度を大幅に超えています。さらに、KLA P16+は、効率的な欠陥検査のためのリアルタイムマシンを提供し、その高感度と解像度でリアルタイムで非常に小さな欠陥や粒子を検出することができます。TENCOR P16+は、試験中にウェーハを正確に温度制御するための高度なサーマルイメージングツールと、オーバーレイ性能を測定するための特別なアライメントアルゴリズムを備えています。このアセットは、重要な機能に対して高速で高精度なアライメントソリューションも提供します。自動化されたウェーハハンドラは、8インチから12インチまでのさまざまなウェーハサイズをサポートし、正確なアライメントとハンドリングを保証する独自の設計です。全体として、P 16+はプロセスの最適化と一貫した品質保証のための理想的なソリューションです。検出感度と精度を向上させながら、プロセスを合理化するように設計されています。KLA/TENCOR P 16+は、オペレータが迅速かつ正確にウェーハをテストし、プロセスの安定性を監視することができます。それは高度な計測アプリケーションのための非常に汎用性と信頼性の高いツールです。