中古 KLA / TENCOR P16+ #9148051 を販売中
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ID: 9148051
Surface profiler
Lapping
Measurement method: long-scan contact linear scans
Vertical resolution: 0.2 Å @ 327 μm
Step height repeatability: 6 Å, 100nm step
Profile data points: 4,000,000
Scan length: 80 or 200 mm
Maximum Z range: 1 mm
Stage translation: 240 mm x 240 mm
Sample positioning: motorized <1 μm
Sample stage diameter: 200 mm
Stylus force: 0.05 mg- 50mg
Field of view: 1.0mm - 4.0mm
Scan speed: 2 μm/sec to 25 mm/sec
Relative humidity: 30~40% (non-condensing) recommended
Temperature: 16℃~25℃, rate of change ≤2° C/h
Vacuum: 500 mm Hg @ 27 liters/min
Electrical: 220V, 60Hz, 430VA.
KLA/TENCOR P16+は、半導体業界における高性能インライン計測および欠陥検査を提供するように設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、高度なツール機能と直感的なユーザーインターフェイスを組み合わせて提供し、高速で一貫した信頼性の高いテスト結果を得ることができます。KLA P 16+は、検出感度と高速データスループットの両方の面で、ダイレベルのマルチチャネル半導体ウェーハ検査を提供する次世代ユニットです。TENCOR P-16+マシンは、業界をリードするウェーハ欠陥検出精度と性能を提供します。このツールには、さまざまなマスク層の欠陥や欠陥サイズを正確に検出できる高度なクアッドチャネル検出技術が搭載されています。ナノメートル横分解能を備え、高精度の欠陥検出と分類を可能にする優れたパターン認識アルゴリズムを提供します。このアセットは、DPT、コーナー、スコープ、表面実装部品などの空間配列タイプを迅速に自動認識します。欠陥検出に加えて、TENCOR P16+モデルはインライン計測機能も提供します。CD-SEM、散乱計、楕円計測などの高度な計測技術を提供し、ウェーハ表面の垂直寸法と側面寸法と歪みの両方を測定します。また、スルー・シリコン・ビア(TSV)のCD-SEM測定、欠陥追跡、およびウェーハ上のテストパターンの配置も提供します。この装置には、高度な光学プロファイラモジュールが装備されており、高速かつ正確な計測のための高度な光散乱および画像処理技術を提供します。KLA P-16+システムは、操作が簡単で信頼性が高く、さまざまなオートメーションスキームと互換性があります。オペレータフレンドリーなインターフェイスにより、簡単な操作が可能で、特定のアプリケーションのテストプランや設定をカスタマイズできます。また、リアルタイムのデータ分析とレポート機能を備えた高度なデータ管理機能も提供しています。ユーザーフレンドリーな機能により、操作と検査プロセスを合理化し、生産性と品質保証を向上させます。最後に、TENCOR P 16+は信頼性、耐久性、および費用効率のために造られます。高い国際基準を満たす堅牢で信頼性の高い設計を提供し、すべての生産環境に適しています。このマシンは、ダウンタイム、コストのかかる修理、メンテナンスコストを削減し、生産性と収益性を最大化するために構築されています。結論として、P16+は、高度なツール機能と信頼性の高いパフォーマンスを提供する強力なウェーハテストおよび計測ツールです。高精度の欠陥検出とインラインメトロジー機能を提供し、半導体業界のさまざまな用途に適しています。このアセットは、使いやすさ、信頼性、費用対効果を考慮して設計されており、品質と生産性が向上します。
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