中古 KLA / TENCOR P16+ #293816815 を販売中

KLA/TENCOR P16+は、直径200mmまでのウェーハの幅広いウェーハ特性を、高いスループットと精度で検査および特性評価するために設計された高性能ウェーハ試験および計測機器です。ウェーハ欠陥、オーバーレイ、パターニング、コンタミネーション、エッチングなど、幅広いプロセスおよび計測アプリケーションにおいて、比類のない精度、速度、精度を兼ね備えています。KLA P 16+は、画期的な新しい光学計測ハードウェアとソフトウェア技術を備えており、ナノメートルスケールの下と上にあるサイズ、高さ、深さ、角度でウェーハ機能を効果的に検査および特性評価することができます。TENCOR P-16+は、独自のマルチスケール計測およびオートアライメント技術を使用して、ウェハサイズの範囲にわたって最適な計測精度を実現します。KLA P16+には、高度でユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスが含まれており、オペレータは幅広い操作を迅速かつ正確に実行できます。KLA/TENCOR P 16+ユニットのテスト機能には、低kV欠陥検査、ダイツダイのオーバーレイ計測、エッジ寸法計測、ラインエッジ粗度、マルチレジストラインパターン、クリティカル寸法、フォーカスチューニングされた反射率が含まれます。また、独自の独自アルゴリズムを使用して結果を分析し、幅広いウエハ特性を正確に測定および特性評価します。P16+には、リソグラフィに関連する工程のラインエッジ構造に関する詳細な情報を提供するLine Edge Roughness （LER）計測や、画像とデバイスの両方の欠陥を検出できる自動欠陥検出（ADD）など、プロセスの特性評価と最適化のための高度な機能もあります。TENCOR P 16+マシンには、さまざまなアプリケーションや構成に対応するためのさまざまなオプションが含まれています。これらには、専用のウェーハテスターとハンドラロボティクス、カスタマイズされたキャリブレーションオプション、フォーカスキャリブレーションプレートなどのアクセサリー、ユーザー定義のカスタムテストシーケンスを実行する機能が含まれます。要約すると、KLA/TENCOR P-16+は、速度と精度で直径200mmまでのウェーハを検査および特性評価できる高度で高性能なウェーハ試験および計測ツールです。革新的な光学計測ハードウェアとソフトウェア技術、独自のアルゴリズム、強力なYSERフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスを組み合わせて、幅広いプロセスおよび計測アプリケーションで信頼性の高い結果を一貫して生成します。TENCOR P16+は、ウェーハテスターとハンドラロボット、カスタマイズオプション、ユーザー定義のカスタムテストシーケンスを実行して機能をさらに強化する機能を提供します。