中古 KLA / TENCOR P16+ #293765625 を販売中

KLA/TENCOR P16+は、ハイスループットウェーハ試験および計測用に設計された機器です。シリコンウェーハには4つの異なるコンポーネントがあり、さまざまな特性を正確に測定できます。システムの最初の部分は、ウェーハパターンまたは欠陥の位置を識別および測定するために使用されるビジョンユニットで構成されています。精密なレーザーを使用して適切な位置合わせを行い、ウェーハ表面からパターンや欠陥を検出できる高解像度デジタルカメラを搭載しています。このツールには、正確な焦点を最適化し、高品質の画像を取得するための光学顕微鏡も含まれています。2番目の部分は、ビジョンアセットから収集されたデータを使用してウェーハの特性を正確に測定するMetrology Stationです。このステーションは、ライン、フレア、ボイドなどのウェーハ機能を測定する高度な光学ソフトウェアツールと統合されています。また、フォトメトリックステレオ（PS）と呼ばれる非接触光学技術を使用して、個々の地形や表面の欠陥を決定するために表面の3次元表現を構築します。3番目の部分は、最大100個の個々のパターンまたは欠陥のマッピングを迅速に作成するために使用される高速マッピングモデルです。この装置は非常に効率的で、高解像度の大きなウェーハを素早くスキャンすることができます。また、取得したデータを分析し、信頼できる結果を提供するための統計ツールも備えています。システムの4番目と最後の部分は、自動欠陥および傷の検査ユニット（ADSI）です。このマシンはレーザー光学系を使用して、プロセスに影響を与える可能性のある欠陥や表面の傷をウェーハで検査します。このツールには、あらゆる欠陥を検出および分類するための高度な画像処理アルゴリズムが含まれています。全体として、KLA P 16+はウェーハテストと計測のための汎用性の高い資産です。そのコンポーネントは、正確なウェーハ機能と欠陥測定を提供し、迅速かつ正確な結果を可能にします。その堅牢な設計と強力なソフトウェアツールにより、あらゆるウェハテストプロセスで信頼性の高いモデルとなります。