中古 KLA / TENCOR P15 #9379431 を販売中

製造業者
KLA / TENCOR
モデル
P15
ID: 9379431
Surface profiler.
KLA/TENCOR P15は、最新の半導体プロセスの効率的で均一な測定と性能最適化のために設計された、高性能でカスタマイズ可能な計測およびウェーハ試験装置です。KLA P-15は、高度なテレセントリックオプティクスと独自のアルゴリズムに基づく最先端のセンサーシステムと完全に自動化された輪郭検出ユニットを組み合わせ、ウェーハ上で高分解能で正確な3次元表面測定を生成します。この機械は、エッチング、CMP、イオン注入、リソグラフィなど、さまざまなプロセスループで製造されたウェーハの表面特徴を迅速かつ簡単に検出できます。これにより、TENCOR P 15はスマートなキャリブレーションとプロセスの品質管理タスクを適用できるため、生産レートを最大限の精度で最大化できます。P 15には、リアルタイムの統計データおよびビジュアルデータに基づくライン単位の欠陥検出の自動化、およびエンドオブライン(EOL)試験カバレッジ評価およびウェーハ間の比較などの高度な解析機能が搭載されています。これにより、プロセス・パターンが必要な業界標準に適合し、ウェーハ全体にわたって変化することを保証します。自動化されたウェハマッピングにより、ローカルの自動補正とプロセス最適化の追跡が可能になります。さらに、TENCOR P15は、パターン、線幅、臨界寸法、オーバーレイアライメント、フィールド内変動、応力など、幅広い計測パラメータを正確に測定および制御することが証明されています。これにより、ユーザーはプロセスのパフォーマンスを完全に把握できます。P15は使いやすく、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスにより、ユーザーは特定のプロセスニーズに合わせて素早く調整できます。包括的な自動化機能により、複数のウェハマッピングおよびウェハ故障解析アプリケーションに最適で、歩留まりの向上と市場投入までの時間の短縮に最適です。KLA P 15の高度なWebベース監視ツールは、プロセスのパフォーマンスの可視化を強化し、入力されたデータを中央データベースに安全に転送することができ、ユーザーは重要な問題をタイムリーに特定して解決することができます。また、高度なレポートおよび分析ツールを使用して、データベースからデータにアクセスして分析することもできます。KLA P15は、現在急速に変化する半導体市場の厳しいニーズに応え、高いスループットで優れた性能を提供することが証明された堅牢で信頼性の高い資産です。最新の高度なプロセス技術の実装と最適化を成功させるための重要なツールになることは間違いありません。
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