中古 KLA / TENCOR P15 #9315026 を販売中

KLA/TENCOR P15は、高いスループットと試験精度を提供するように設計されたハイエンドのウェーハ試験および計測機器です。これは、1つの明るいフィールドと2つの暗いフィールドカメラからなる三眼イメージングシステムに基づいており、高度なカセグレイン光学ユニットを組み込んでいます。これにより、非常に高い精度と速度でウェーハ上のサブミクロン特性を測定することができます。本機は、高品質のカメラと照明ツールを搭載しており、ウェーハ上のサブミクロン異常を正確に解決するために、画像キャプチャ用の幅広いダイナミックレンジを可能にします。KLA P-15はまた、他のシステムよりも高いレベルのウェーハサンプリングを可能にする優れた視野を提供します。さらに、この資産は非常に正確なパターン認識とオーバーレイ測定が可能であり、複雑な測定のための高精度と柔軟性を提供する多種多様な統合測定サービス（IMS）パッケージを所有しています。TENCOR P 15には、迅速な画像処理と統計解析のための高度な計算機能も搭載されており、詳細な測定分析が可能です。これには、多次元および多層画像表示、および対象領域（AOI）分析が含まれます。さらに、ウェーハ特性の完全な理解と定量化を提供するために、ウェーハ計測、欠陥解析、表面粗さ試験を行うことができます。最後に、P 15は、ステッピングコレロメータ、自動欠陥認識およびジェネレータパッケージ、染料コーンコレロメータおよび装置レベル欠陥解析（SLDA）などのハードウェアツールを提供しています。さらに、Measurement EQのようなソフトウェア機能を提供しています。これは、テストの設定、監視、制御のためのグラフィカルインターフェイスであり、グラフィカル分析であり、結果をグラフィカル形式で詳細に分析することができます。これらの機能を組み合わせることで、これまで以上に高いレベルのプロセス制御、精度、スピードを実現できます。