中古 KLA / TENCOR P15 #9313370 を販売中

KLA/TENCOR P15は、デバイス製造時に正確な表面および電気特性データを提供するように設計されたウェーハ試験および計測機器です。Wafer Ordered Exam （WOE）、 Finite Element Analysis （FEA）、ウェーハ応力テストなど、業界標準のさまざまなテストプロトコルをサポートしています。このユニットは、高度な4象限差動センシング技術に基づいており、デュアルチャネル干渉計測ヘッドを使用して高精度の表面および電気データを取得しています。この機械は、スレッショルド電圧、フラットバンド電圧、モビリティなど、スポット分解および面積測定の両方の電気パラメータを測定することができます。このツールの主な機能には、優れた測定精度、再現性、堅牢性、高スループットが含まれます。また、このアセットはリアルタイムのウェハマッピングを実行して、表面や電気特性が均一でないウェハ上の特定の領域を特定することもできます。このモデルはスケーラブルなオープンプラットフォーム上に構築されており、6-Axisモーションコントロールを備えたウェーハアライメント装置、サンプルアライメントと検査のための高度な光学顕微鏡、データ分析とソフトウェア制御のための強力なコンピュータなど、さまざまな専門ツールが装備されています。さらに、革新的な自動校正方法を使用して、手動の処理手順を排除し、システムの稼働時間、パフォーマンス、精度を向上させます。このユニットは、幅広いテストヘッド構成と200mm、 300mm、 450mmウェーハなどのウェーハサイズをサポートしています。安全性、性能、精度、環境、トレーサビリティに関する業界標準に準拠するように設計されています。KLA P-15ウェーハ試験および計測機械は、半導体デバイスの製造にとって重要なツールであり、精密デバイス試験のために高精度の表面および電気測定を必要とするお客様に最適です。