中古 KLA / TENCOR P15 #9293535 を販売中

KLA/TENCOR P15は、半導体プロセスのニーズを満たすように設計された、汎用性の高い費用対効果の高いウェーハ試験および計測機器です。最大8 ″、 12 ″、さらに大きなウェーハに対して幅広いウェーハ特性評価および測定機能を提供します。このシステムは、高度なレーザー、光学部品、機械部品を使用して、表面粗さ、臨界寸法、プロファイル、ラインエッジ粗さなどの重要な特性を測定します。KLA P-15は、ユーザーがウェーハの表面を正確にスキャンしてキャプチャできるように、大規模なステージとイメージングオプティクスを中心に設計されています。光学部品はイメージング性能を最大化するために最適に構成され、レーザーは正確な測定データを提供するために利用されます。このユニットは複数のセンサーヘッドを備えており、それぞれに固有の視野があり、あらゆる空間方向の特徴を測定することができます。2つの独立したXYステージは、可変速度スキャン、スループットの向上、およびより正確な計測データを提供します。このマシンは、低kV、超低kV、明るいフィールド、暗いフィールドなど、さまざまな測定モードを提供しており、さまざまなウェハ属性を測定することができます。さらに、TENCOR P 15は自動アライメントおよび欠陥検出機能を提供します。この機能は、手動サンプリングと比較して、テストの作業をスピードアップして簡素化します。TENCOR P15は使いやすさとデータ収集のために設計されています。オープンアーキテクチャにより、他のシステムと容易に統合でき、複数のソースからのデータ収集が可能です。ウエハサイズや素材の設定が容易で、プロセスの故障解析、監視、開発に使用できます。さらに、校正、メンテナンス、修理が簡単に行えるように設計されており、ツールをカスタマイズするためにさまざまなオプション部品を追加できます。全体として、P 15は多目的で費用対効果の高い資産であり、測定、テスト、計測機能の範囲を提供します。半導体製造におけるプロセスエンジニアリング、品質管理、トラブルシューティングに最適なソリューションとなるさまざまな機能と機能を提供しています。