中古 KLA / TENCOR P15 #9265341 を販売中

KLA/TENCOR P15は、半導体製造施設のプロセス制御および欠陥検査に使用されるウェーハ試験および計測機器です。自動化された光学系を使用して半導体ウェーハを検査し、要素のばらつき、地形、ダイヤモンド分布を測定します。KLA P-15は、ウェーハの画像をキャプチャするCCD（充電結合デバイス）や、表面をスキャンするために使用されるレーザーなど、さまざまなセンサーを利用しています。面粗さや地形などの複数の測定を行い、欠陥検査を行います。TENCOR P 15は、サンプリングレートが400 WPH （1時間あたり）、解像度が1。5 umの高速、高精度の検査用に設計されています。5nmの測定精度を持ち、サブミクロン欠陥部位を検出し、ウェーハ全体のバリエーションを処理することができます。また、ネットワーク、シリアル、SCSIインターフェイスなど、さまざまな通信プロトコルを備えているため、既存の本番環境に統合できます。TENCOR P-15ユニットは、製造に必要な時間と材料を削減するために設計されているため、半導体メーカーのコストを向上させることを目的としています。このマシンには「Smart Rating」機能が搭載されており、ユーザー定義の統計評価に基づいて最適なパス/フェイルの決定が可能で、最終的には拒否数が少なくなり、コストが削減されます。P 15には自動キャリブレーション手順もあり、わずか数分で測定設定、キャリブレーション、レシピを取得することでウェーハ検査を合理化します。全体として、KLA P 15は、時間、コストを節約し、歩留まりを向上させることができる半導体生産のための強力なツールです。高精度で高速な検査機能により、正確で一貫した測定が可能であり、より信頼性の高い結果が得られます。自動校正機能、統合機能、およびSmart Rating機能により、生産性を向上させる費用対効果の高い欠陥検査とプロセス制御が可能になります。