中古 KLA / TENCOR P15 #9261862 を販売中

KLA / TENCOR P15
製造業者
KLA / TENCOR
モデル
P15
ID: 9261862
ウェーハサイズ: 8"
Surface profiler, 8".
KLA/TENCOR P15は、自動ウェハテストおよび計測システムです。高度なウェハ検査、欠陥分類、光学的取得、非接触トポグラフィに使用されるマルチツールプラットフォームです。KLA P-15は、高い精度と高いスループットでウェーハテストと計測を行うように設計されています。高度な光学モードと非接触モードの両方を提供します。光学モードでは、TENCOR P 15は反射率、光学コントラスト、および材料コントラストを測定できます。さらに、重要な寸法とフィーチャーの高さを測定するために、ナノスケールプロファイルデータを生成できます。非接触モードでは、レーザースキャン技術を使用して小さな欠陥を検出できます。P 15は高度な分析機能を備えています。AI駆動アルゴリズムにより、TENCOR P-15は幅広い欠陥を自動的に検出、識別、分類することができます。また、高度なパターンマッチングアルゴリズムを備えており、ウェハマップとデータの迅速かつ正確なレビューを可能にします。精度に関しては、KLA P15の最大解像度は0。4 µm、精度は0。1 µmです。そのダイナミックレンジは、1000万:1の高さにすることができます。さらに、KLA/TENCOR P 15は非常に柔軟性があるように設計されており、ユーザーはさまざまな計測要件に従ってシステムを簡単に再構成できます。さらに、P-15は人間工学に基づいて設計されており、サンプルの読み込み、サンプルの切り替え、ウェハーマップレビューに簡単にアクセスできます。全体として、KLA P 15は、高度なウェーハテストと計測システムをユーザーに提供します。精度、柔軟性、および人間工学により、半導体製造における幅広い用途に適しています。
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