中古 KLA / TENCOR P15 #9128280 を販売中

KLA/TENCOR P15は、半導体製造プロセスをサポートするように設計されたウェーハ試験および計測機器です。集積回路の電気特性を測定する機能と、ウェーハ表面の地形を測定する機能を備えています。このシステムには高解像度の顕微鏡が含まれており、亀裂、粒子汚染、空隙などのさまざまな欠陥を識別するために使用されます。KLA P-15の特殊照明ユニットは、オペレータに非常に高い倍率でサンプルの詳細な画像を作成する能力を提供します。TENCOR P 15には6軸モーションステージが装備されており、ウェーハ表面の正確な位置で多くの測定を行うことができます。このマシンは、高度な光学プロファイラを使用して、ウェーハ上の個々のパターンの地形の深さ、幅、傾きを高解像度で測定します。これらの測定は、抵抗、静電容量、およびその他の電気特性を含む、回路の電気パラメータに関する詳細な情報を提供します。さらに、P 15には走査型電子顕微鏡（SEM）機能が組み込まれており、汚染や不完全な痕跡などの極めて特定の欠陥を検出することができます。SEMには、ナノスケール上の相互接続を探索する機能があり、伝統的な光学測定で得られるものを超えて、ウェーハの特徴に関する詳細な情報を提供します。KLA P15のソフトウェアには、画像の自動分類とソートを可能にする高度な画像処理アルゴリズムが含まれています。これは非常に手動労働を減らし、手動点検より正確な結果を与えることができます。ソフトウェアは、視覚的に識別することが困難である微妙な欠陥を検出することができます。KLA/TENCOR P 15は、半導体製造における試験および計測のための汎用性と強力なツールです。これは、高い精度で電気的および地形的パラメータの広い範囲を測定するだけでなく、高解像度で微妙な欠陥を検出することができます。さらに、その自動画像処理アルゴリズムは退屈な手動タスクをより効率的にし、正確な結果を保証するのに役立ちます。これにより、TENCOR P15半導体製造の品質管理に最適なツールとなります。