中古 KLA / TENCOR P15 #293677300 を販売中

KLA/TENCOR P15ウェハテストおよび計測装置は、半導体製造者が使用する先進的な機械であり、製造プロセスにおけるデバイスの品質を制御することが可能です。このシステムは、信頼性と効率性の高いプロセスで、光学検査、欠陥分類、欠陥および粗さ測定、および半導体ウェーハ上の材料特性評価を実行します。KLA P-15は最先端の光学設計を採用し、オートフォーカスを採用し、検出を最大化し、スキャン範囲を10〜200mmまで拡張します。このユニットは、現場顕微鏡と4軸の動きを利用して、広範囲にわたって高精度で高速な動きを保証します。必要なデータを取得するために、さまざまな画像取得およびデータ処理アルゴリズムが採用されており、欠陥の診断と特性評価を提供する統合欠陥レビューオプションがあります。KLA P15wafer試験および計測機は、欠陥を効果的に検出および分類するために、高度な合成イメージングと自動検出アルゴリズムを使用しています。また、検出困難な欠陥の可視性を向上させるために、画像再構成アルゴリズムが採用されています。また、さまざまな自動ウェーハ解析機能が搭載されているため、基板上で直接欠陥を迅速かつ正確に識別および分類することができます。TENCOR P 15ツールの追加機能には、表面の凹凸を測定するためのオプションのレーザー干渉計モジュールと、オーバーレイ性能を測定するアセットが含まれます。リアルタイムメトロロジーオプションを使用して、ウェーハ上の構造物のサイズ、形状、方向（線幅、スペース幅、クリティカル寸法、粒度など）を測定および追跡できます。また、高度なプロセス能力指数（PCI）モデルを利用して、ウェーハ全体の品質とプロセス性能を測定することもできます。P15ウェハテストおよび計測機器は、検査、特性評価、および統合欠陥レビューのためのクラス最高の機能を提供します。高精度、高速、高信頼性を備えているため、部品の最高品質を確保しようとする半導体メーカーにとって理想的な選択肢です。高度な機能とユーザーフレンドリーなインターフェースを備えたKLA P15システムは、半導体ウェーハの試験および計測に理想的なソリューションを提供します。