中古 KLA / TENCOR P15 #293645079 を販売中

KLA/TENCOR P15は、超大規模統合（ULSI）システムの生産において最高の歩留まりを確保するために設計された最先端のウェーハ試験および計測機器です。KLA P-15は、半導体デバイスの幾何学的および電気的パラメータを迅速かつ正確に測定するために、高性能で非接触のウェーハ検査を提供します。TENCOR P 15は、非常に高速でウェーハを非接触にする空気式スキャナを備えており、ウェーハ表面の広い面積を一度に測定することができます。TENCOR P15は、ウェーハ表面の画像をキャプチャする高解像度イメージングシステムです。このユニットは、パターニング精度、デバイスのサイズ、配置、および一般的な表面地形を測定するために画像を分析します。トランジスタの抵抗、静電容量、インダクタンスなどの電気特性も測定できます。KLAは最先端の技術を機械に組み込み、可能な限り最高の歩留まりを確保しています。例えば、KLA P15は、0。02ミクロンの小型部品を測定できる高分解能の光学プロフィロメータを備えています。また、高性能レーザースポットサイズ低減ツールを備えているため、小さな形状の特徴を損傷することなく正確にプロービングできます。また、TENCOR P-15は、詳細な視覚的および統計的欠陥分析を行うことができる自動ウェーハ解析を備えています。これは、毎秒14,400サイトまでの速度で、傷やマイクロピットなどの微妙な欠陥を検出することができます。さらに、プロセス能力、はんだバンプ高さ、平坦度などの性能パラメータも確認できます。これらの機能により、KLA/TENCOR P 15は最も強力で信頼性の高いシステムの1つです。これは、最も厳しい生産環境の要求を満たし、上回るように設計されています。一方で、重要なテストデータが効率的かつ正確に収集されているという自信をメーカーに与えます。