中古 KLA / TENCOR P15 #293592474 を販売中

KLA/TENCOR P15は、ウェーハ検査時間を最小限に抑え、欠陥を低減するように設計されたハイエンドウェーハ試験および計測機器です。KLA P-15システムは、電気計測と光学計測の両方に使用されるトップダウンとボトムアップウェハテストアーキテクチャの両方で設計されています。また、レーザー干渉計やフォトメトリーなどの幅広い計測機能をサポートする高度な光学機能も備えています。このユニットには、9軸パスナビゲーション、光学レーザー干渉計、回折グレーティングユニットなどのハイエンド光学機器が装備されています。この高度な光学ツールは、正確なウェハマッピングを可能にし、ウェハの平面の輪郭、高さの変化、およびその他の光特性を信頼性の高い正確な方法で正確に測定することができます。また、ウェーハ表面の欠陥を測定することができ、ウェーハの状態を正確に分析して検査することができます。TENCOR P 15アセットには、電気特性、光学特性、およびダイバイ・ダイ特性を測定するさまざまなセンサーが装備されています。これにより、迅速かつ正確なウェーハ特性評価と欠陥ローカライズが可能になります。また、高精度なX線およびウェハマッピング装置を搭載しているため、迅速かつ正確な欠陥の定位および分類が可能であり、ウェハ検査において非常に効率的で信頼性が高い。P 15システムは、最新のパターン認識技術を活用して、加工に起因する欠陥と環境要因を区別し、より良い欠陥診断と予防を支援します。このユニットには、さまざまなスループット要件に対応する個々のパラメータをリアルタイムで調整できる「柔軟な調整」機能が内蔵されています。これは、ウェーハ材料および計測要件だけでなく、異なるウェーハサイズにも対応できるようにするのに役立ちます。全体的に、TENCOR P-15ウェーハテストおよび計測ツールは、ウェーハ検査時間を最小限に抑え、欠陥を低減することを目的に設計および作成されています。信頼性、正確性、高効率であるため、ウェーハの検査と特性評価に役立つ信頼性の高いツールであり続けています。