中古 KLA / TENCOR P12 #9392418 を販売中

KLA/TENCOR P12ウェーハテストおよび計測機器は、ウェーハテストと検査のための汎用性と自動化されたシステムです。このユニットは、8インチまたは12インチのウェーハを受け入れるように設計されており、全体のフットプリントは17平方フィート未満であり、ラボのスペースを最大限に活用できます。このマシンは多機能であり、さまざまなウェーハ検査、計測、および試験アプリケーションを提供します。このツールは、制御ユニット、モーションおよびウェーハ処理コンポーネント、およびプロセス制御/検査モジュールで構成されています。制御ユニットには19インチのラックマウント型コントローラが搭載されており、19インチのキャビネットまたはラックに取り付けることができます。また、モータードライブボード、モーションカード、多軸サーボヘッド、ウェーハ搬送に必要なウエハハンドリングコンポーネントも内蔵しています。1ミクロン以内の位置決め精度で高精度なフォースセンシングとモーションコントロール機能を備え、最大3回の同時動作をサポートします。また、実際の計測、検査、テスト作業を行うために必要なプロセス制御/検査モジュールも含まれています。プロセス制御/検査モジュールには、ウェットステーションイメージング、ドライステーションイメージング、化学/冶金分析、特定の欠陥測定およびレビューが含まれます。この装置は、自動化された操作と統計的なプロセス制御により、高いスループットと信頼性を実現するように設計されています。システムには、カスタムレシピの作成を可能にするソフトウェアパッケージも付属しており、詳細な結果とデータをキャプチャして報告することができます。このユニットは、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスとインタラクティブチュートリアルで、ユーザーフレンドリーで使いやすいように設計されています。KLA P 12ウェーハ試験および計測機械は、セミコンドータや太陽電池の生産など、さまざまな業界での使用に適しています。また、研究開発のための貴重なツールでもあります。TENCOR P-12は、高速な処理速度、堅牢性、幅広いプロセス制御オプションを備え、ウェーハ試験および計測に最適なツールです。