中古 KLA / TENCOR P12 #9358965 を販売中

KLA/TENCOR P12ウェーハ試験および計測装置は、製造工程における半導体ウェーハの品質を保証するために設計された自動欠陥検査システムです。このユニットは、ウェーハ材料の欠陥を特定するために、さまざまな検出および測定技術を使用しています。ラインエッジ/スペースバリアビリティ、ボイド、粒子、傷、汚染など、ウェーハ内のさまざまな粒子サイズ、形状、およびさまざまな種類の欠陥を検出および測定することができます。KLA P 12は、ウェハハンドリングとマッピング機、検査ツール、イメージングツールを備えた検査モジュールを搭載した先進的な機器です。このツールは、ハイエンドのプロセス制御と欠陥のないウェハに必要な20nm分解能を備えています。このツールは、ウェーハの正確な移動、正確な位置決め、アライメントを提供するマルチモードウェーハハンドリングアセットを利用しています。イメージングモデルには、直接光学顕微鏡を使用したアクチニックおよびブライトフィールド照明の配列が含まれています。この装置は、表面の不規則性、欠陥、および粒子を検出して測定するために、ウェーハの高解像度画像をリアルタイムで表示することができます。TENCOR P-12には、粒子や欠陥のサイズや形状を検出し分類できる強力な欠陥解析ソフトウェアが搭載されています。また、デバイス密度、線幅、厚さのバリエーションなど、ウェーハの重要な特徴を特定することができます。このソフトウェアは、デバイスの統計を期待値と比較することができ、仕様外の場合はオペレータに警告します。このユニットには、詳細なプロセスレポートの監視とアーカイブのための主要なデータストレージとレポート生成機能も含まれています。全体として、KLA/TENCOR P-12は、ウェーハ上の粒子や欠陥を検出および測定することにより、半導体生産の収率を最大化するように設計された強力なウェーハ試験および計測機です。20nm分解能、強力な欠陥解析ソフトウェア、データストレージ/レポート生成機能により、あらゆる半導体製造事業にとって非常に貴重な資産となります。