中古 KLA / TENCOR P12 #293800615 を販売中

KLA/TENCOR P12は、プロセス制御ソリューションのグローバルリーダーであるKLAによって開発されたウェハテストおよび計測機器です。このシステムは、臨界寸法（CD）変動、オーバーレイ、小型および大平坦、欠陥検出、薄膜厚など、幅広い重要なパラメータを測定する機能を提供します。このユニットは、ウェーハ間のスループット、品質、生産性を最大限に高めるように設計されています。KLA P 12は、高度なパターン認識ソフトウェアと組み合わせたサブナノメートル精度のX線レーザー共焦点機を使用して、優れた解析を提供します。高度な試験機能の中心には革新的な照明設計があり、実際のデバイス機能とフィルム層の両方を検出することができます。マルチスペクトル検出器アレイは、CD、オーバーレイ、堆積膜などの高精度、迅速かつ非破壊測定を可能にします。このアセットには、6軸ウェーハステージと200mmの大きなウェーハ容量が装備されており、高速スループットとノンストップモーションを提供します。高度な光学設計と照明設計により、サブミクロンレベルまでの機能を最適に測定できます。TENCOR P-12は、特徴のサイズおよび材料、また点検視野（FOV）の設定およびズーム機能を点検するために複数の光学構成を提供します。ソフトウェアレベルでは、P 12には、さまざまなグラフやグラフの形で情報を適切に表示するための強力な分析および可視化ツールが装備されています。このモデルはまた、グローバルアライメントを提供します。これは、テストダイとターゲットのずれを補う機能であり、精度とスループットを向上させます。P-12は複数のテスト構成にも対応しており、お客様はテストされたサンプル数を最適化することができます。柔軟な自動化サポートにより、既存の生産プロセスへのシームレスな統合が可能になり、幅広い通信インタフェースにより、複数のデータ転送方法が可能になります。要約すると、KLA/TENCOR P 12は、優れた測定精度、スループット、柔軟性を兼ね備えた完全なウェーハテストおよび計測ソリューションを提供し、製造プロセスで最高の品質と生産性を保証します。