中古 KLA / TENCOR P12 #293595755 を販売中

KLA/TENCOR P12は、ウェーハ表面の地形と化学組成を正確に測定するために設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは幅広い機能を備えており、様々な半導体やオプトエレクトロニクス用途に適しています。KLA P 12は、走査型電子顕微鏡（SEM）カラム、普遍ステージ、垂直ステージを備えています。SEMカラムは、高解像度のイメージングを提供し、ウェーハ表面の細部を明らかにします。ユニバーサルステージは、直径200mmまでのウェーハを扱うことができ、2つのステージを持ち、異なる角度でのイメージングを可能にします。垂直段はさらに、電子ビーム下のウェーハの微細な位置決めを可能にします。TENCOR P-12には高速オートフォーカスカメラが搭載されており、望ましいサーフェスフィーチャーを素早く正確に見つけることができます。このカメラは、2Dおよび3D解析およびイメージング用のPCベースのイメージングプラットフォームに接続されています。さらに、イオン源、低真空チャンバー、EDX （Energy Dispersive X-Ray）検出器などのオプションのアクセサリを多数装備し、化学分析機能を提供します。KLA/TENCOR P-12は、包括的な計測スイートを誇っています。メニュー駆動のソフトウェアは、ユーザーフレンドリーな設計を特徴とし、傾斜測定、CD（臨界寸法）測定、x-yステージキャリブレーションおよびアライメント、欠陥解析などのマルチパラメータ測定が可能です。CD計測は、ウェーハパターンの精度と均一性を確保するために特に有用であることが証明されています。また、ウェーハステージに複数のウェーハを簡単に配置できる自動アライメント機能を備えています。全体として、TENCOR P 12ウェーハ試験および計測ツールは、ウェーハ表面の高速で正確で詳細な測定を必要とする多くの半導体およびオプトエレクトロニクスアプリケーションにとって理想的な選択肢です。強力なイメージング機能とさまざまな測定機能により、業界をリードする結果を提供し、日常使用に信頼できるツールです。