中古 KLA / TENCOR P11 #9397724 を販売中

KLA/TENCOR P11ウェーハ試験および計測装置は、表面形状、フィーチャーサイズ、欠陥特性などのウェーハ特性を高精度に測定できるように設計されています。KLA P-11には、複数の光学および電気プローブとサブミクロン分解能の電動スキャン技術が搭載されており、幅広いウエハ基板を正確に分析できます。これらの測定により、エンジニアと科学者は、表面仕上げ、線幅、臨界寸法の均一性、欠陥分布などのパラメータを正確に測定しながら、大容量の生産環境で個々の構造を特徴付けることができます。広視野イメージングとナノメートルスケールの精密測定が可能な全光設計を採用しています。可動式レーザー光源はウェーハサンプルを照射し、表面から反射して光受信機で回収します。その後、収集されたデータをキャプチャし、後で分析するために保存するためにイメージングモジュールが使用されます。収集されたデータを分析するために、TENCOR P 11はいくつかの物理的および数学的アルゴリズムを利用しています。これらのアルゴリズムは、表面の輪郭を計算し、サンプルのプロファイルを明らかにするために使用されます。また、表面欠陥特性を調べ、特徴のサイズを測定するためにも使用されます。このユニットには、サンプルから線幅、臨界寸法の均一性、欠陥などの特徴を認識および抽出できる一連のパターン認識ツールも含まれています。これらの機能に加えて、KLA/TENCOR P 11は、いくつかのタッチスクリーンメニューを備えた直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えた洗練されたユーザーインターフェイスを備えています。手動および自動入力がサポートされており、データの保存とカタログ作成が可能で、データ追跡とワークフロー管理が可能です。このツールには、データの完全性を確保し、データの損失を防ぐためのいくつかのセキュリティ上の注意が装備されています。P11ウェーハテストと計測資産は、ウェーハ基板の正確で信頼性の高い測定を提供する強力なツールであり、半導体生産環境で働くプロセスエンジニアや科学者にとって不可欠なツールです。