中古 KLA / TENCOR P11 #9314006 を販売中

KLA/TENCOR P11は、プロセス制御、研究開発のための迅速かつ正確なウェーハ幾何学測定を提供するウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、自動ダイソート機能と、線幅や線端の粗さなどの臨界寸法（CD）測定、パターン平坦度やスキャン干渉などの面積測定などの幅広いウェーハ幾何学測定を可能にします。革新的な高速光学モジュール、ユニークなレンズ設計、高度な照明ユニットを備えているため、最も複雑な幾何学的特徴を精密に測定することができます。KLA P-11マシンは柔軟性が高く、複数のアプリケーションをサポートします。モジュール式でアップグレード可能なように設計されているため、お客様は製造元に連絡する必要なく新しい機能を追加できます。ウェーハあたりの測定値を最大化するように設計されており、研究環境と生産環境の両方に高いスループットとコスト効率の高いソリューションを提供します。TENCOR P 11は、直径300mmまでのフラットパネルディスプレイとサンプルウェーハの両方に対応するように構成できます。このツールには、高度なデュアルビーム光学顕微鏡アセットも装備されており、高さ、面積、線幅、臨界寸法測定などのデータを収集できます。P11はまた、高精度の電動高さ軸と電動検査ステージを提供し、測定位置と再現可能な結果を正確に制御することができます。さらに、KLA P 11には自動化された自動ゼロキャリブレーションモデルが組み込まれており、正確で再現性の高い測定が可能です。さらに、装置には直径固有のレシピのオンボードライブラリがあり、ウェーハメトロロジーシステムを素早くセットアップし、手動校正を必要とせずに測定を行うことができます。全体として、TENCOR P-11は正確で柔軟なウェハテストおよび計測ソリューションであり、研究および生産アプリケーションの両方で正確な測定とコスト効率の高い運用が可能です。洗練されたデュアルビーム光学顕微鏡ユニットと自動化されたキャリブレーションにより、正確な測定が保証されますが、オンボードライブラリとアップグレード可能な機能により、長期間にわたって最先端を維持できる可能性があります。