中古 KLA / TENCOR P11 #9293256 を販売中

KLA/TENCOR P11ウェハテストおよび計測装置は、大規模（最大300mm）シリコンウェハ上のマイクロエレクトロニクスデバイス、MEMS、およびフォトニクス部品のオンウェーハ測定用に設計された自動システムです。KLA P-11は、高度なパターン認識アルゴリズムを使用して、大きなウェーハ上の個々のパターンやデバイス構造を識別し、その高解像度イメージング機能を使用して測定します。TENCOR P 11は、アクティブな振動絶縁、オートフォーカス、ポテンショメータ制御の自動ステージにより、精度と再現性を実現し、ウェーハレベルの試験に高精度な測定を提供します。KLA P 11ユニットは、モーションコントローラ、データ収集機、イメージングツールなど、いくつかのサブシステムで構成されています。モーションコントローラは、x-y-z変換と回転ステージを提供し、ウェーハ上のデバイスを正確に特定します。データ収集アセットは、デジタル/アナログおよびデジタル/デジタル（D/AおよびD/D）入出力ユニットを備えた高速データ収集機能を提供します。KLA/TENCOR P-11イメージングモデルは、オンボードLED照明と0。5 𝛍mスポット解像度設定で最大20倍の光学ズーム倍率を備えた独自の顕微鏡設計です。水浸着目標とサンプルホルダーを使用すると、さまざまなサンプルの高さと特性を持つサンプルを正確に測定できます。P-11には、ダイ認識、アライメント/登録、ベクタープロット、デバイス分類のための自動パターン認識アルゴリズムもあります。ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスにより、システムを簡単にプログラムおよび制御できます。KLA/TENCOR P 11ユニットは、ウェーハレベル試験の測定精度、分解能、再現性を向上させます。サンプルホルダー、照明と対物レンズ、振動分離、オートフォーカス機能などの機能を備えた、ウェーハ試験および計測用のオールインワンパッケージを提供し、ユーザーは正確で繰り返し可能な結果を迅速に生成できます。高度なパターン認識アルゴリズムにより、KLA P11は複雑な金型構造をテスト、分析、特性評価するための費用対効果の高い品質管理ソリューションを提供します。