中古 KLA / TENCOR P11 #9281222 を販売中

KLA/TENCOR P11ウェーハ試験および計測装置は、ナノスケールでのウェーハの検査および特性評価において、高速で信頼性が高く、一貫性のある結果を提供するように設計された自動検査および分析システムです。このユニットは、最新の自動光学検査および画像解析技術を活用して、オペレータの介入を最小限に抑えた最高品質のスキャンおよび特性評価データを提供します。KLA P-11は、高解像度CCDカメラや最先端の非接触メトロロジーツールセットなど、強力なハードウェアおよびソフトウェア技術を利用しています。この機械は200mmから600mmのサイズ範囲のウエハをスキャンし、分析することができます。TENCOR P 11には、ライン、スペース、アレイ機能のイメージング、ファインピッチ機能のイメージング、基本的なシリコン欠陥ナビゲーションなど、さまざまなパターン検査機能が搭載されています。さらに、ウェーハ表面の明確な領域を空間精度とスペクトル精度の両方で特定することができます。TENCOR P11には、スキャンおよび解析機能に加えて、分光解析、表面および厚さ測定、エッジ検出およびS/TILマッピング、欠陥特性評価などの高度な測定ツールセットも含まれています。また、マルチチャネル機能により、スキャンと分析を同時に行うことができ、広い領域の高速測定が可能です。P-11は、製造工程の結果を検査・検証できるよう、工程管理対策も実施しています。このツールには統合されたAutomation Libraryが装備されており、自動化されたプロセスの作成と実行を簡素化し、エラー率を低減し、複数の生産ラインで品質基準を維持するための自動検査を作成できます。全体として、KLA P11は堅牢で汎用性が高く、高性能なウェハテストおよび計測資産であり、高速で信頼性が高く、一貫性のある結果を提供するように設計されています。このモデルは、強力なハードウェアおよびソフトウェア技術に加えて、製造プロセスの結果を決定するためのプロセス制御対策も活用しています。この特徴の組合せはそれを半導体産業のウエハの点検そして分析のための理想的な選択にします。