中古 KLA / TENCOR P11 #9250103 を販売中

KLA/TENCOR P11ウェーハ試験および計測装置は、ウェーハおよび製品のリアルタイムのパフォーマンス監視およびプロセス制御を可能にする高度な自動光学検査および計測システムです。KLA P-11は、高分解能の光学顕微鏡を使用することで、ウェハの特徴、ダイバイ・ダイの均一性を正確に分析し、製品の厚みやオーバーレイ・オフセットを比較的測定することができます。TENCOR P 11は、NA （Numeric-Aperture）が0。18以下の8インチまたは12インチの視野を利用しており、1ミクロンの精度分解能と最大8フレーム/秒の高速画像取得速度を提供します。さまざまな光学部品は、幾何学的およびエッチング解析、ドキュメントレビュー、ネットワーク検証など、生産ラインでアプリケーションをサポートする包括的なパラメータと測定タイプを提供します。KLA/TENCOR P 11はまた、迅速かつ信頼性の高い欠陥分類機能を提供します。これにより、ユーザーは大量のデータをすばやく分析し、ワンクリックで即座に結果を得ることができます。特殊なアルゴリズムは、欠陥を自動的に検出および分類し、半導体ウェーハおよび材料の特性評価、分類、検証に信頼性の高い再現性の高いプロセスを提供します。P11のメインモジュールは、Metrology、 Review&Pattern Search、 Defect Review Platformで構成されています。直感的なユーザーインターフェイスにより、操作が簡単になり、セットアップ時間が長くなりません。データ出力は一元化されたリポジトリに保存され、リアルタイムのパフォーマンスメトリックを可視化してアクセスできるため、グローバルな欠陥ライブラリとの欠陥知識共有が容易になります。TENCOR P-11ユニットは、トレーサビリティと分析、Net/Yield Management機能も提供しています。高性能キャパシタンス型センサで動作し、検査結果を立体画像で可視化することができ、業界グレードのウエハプロセス監視や欠陥解析に最適です。最後に、Tool Managerツールを使用すると、ユーザーは資産パフォーマンスを監視し、品質保証のためにさまざまなテストを実行できます。KLA P 11は、今日の生産ラインにおけるウェーハおよび製品の検査、監視、分析のための非常に汎用性の高いツールです。このツールは、プロセスの信頼性と正確性を確保し、高性能な結果と歩留まりを保証するのに役立ちます。