中古 KLA / TENCOR P11 #9248607 を販売中

KLA / TENCOR P11
製造業者
KLA / TENCOR
モデル
P11
ID: 9248607
ウェーハサイズ: 6"-8"
Surface profiler, 6"-8".
KLA/TENCOR P11は、半導体製造プロセスの各ステップで迅速かつ正確なプロセス制御フィードバックを提供するように設計された最先端のウェーハ試験および計測機器です。欠陥検査、オーバーレイ計測、欠陥レビューの機能を組み合わせています。このシステムは、幅広いプローブカードと互換性があり、業界をリードするマスクルールチェッカーと互換性のあるマスクパターンを備えています。KLA P-11にはHigh Definition HD Super-Resolution技術が搭載されており、欠陥検出精度を向上させる優れたウエハイメージング機能を提供します。このユニットは、高度なアルゴリズムを使用してウェーハの画像を分析し、欠陥を分析し、正確で信頼性の高い欠陥の分類と欠陥のレビューを可能にします。これにより、迅速かつ正確な欠陥認識が可能になり、非常に微細な非均一性を持つウェーハを迅速かつ正確に識別することができます。TENCOR P 11は、非接触オーバーレイ計測にマルチセンサアプローチを採用しています。これにより、マスクと基盤となるシリコンウェーハ間の迅速で正確かつ再現性の高いアライメント測定が可能になります。基盤となるシリコンウェーハの表面トポロジーのボクセル配置と検査により、複数のウェーハやロットにわたってこのアライメントの精度を維持することができます。KLA/TENCOR P-11ウェーハテストおよび計測機械は、標準的な既製コンピューティングプラットフォームで動作します。ツール画面で直感的なユーザーインターフェイスを提供し、メニューとボタンの構造が整っており、オペレータはすべてのアセットモード、パラメータ、設定にすばやくアクセスできます。要するに、P11は最先端のウェーハテストと計測モデルです。欠陥検出精度、非接触オーバーレイ計測の正確かつ再現可能な結果、およびオペレータがプロセス全体を迅速かつ効率的に管理できる構造化されたユーザーインタフェースを提供します。
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