中古 KLA / TENCOR P11 #9243727 を販売中

KLA / TENCOR P11
製造業者
KLA / TENCOR
モデル
P11
ID: 9243727
ウェーハサイズ: 8"
Surface profiler, 8".
KLA/TENCOR P11は、半導体ウェハテストおよび計測アプリケーション向けの高精度プローバを提供するように設計されたウェハテストおよび計測システムです。以前のPシリーズプローバーの成功に基づいて構築されたKLA P-11は、製造現場に多くのエキサイティングな新しい機能をもたらします。TENCOR P 11の光学計測システムは、革新的なドット照明設計を採用しているため、不具合のあるウェーハをすばやく特定し、是正措置を講じることができ、最終的に歩留まりを改善し、コストを削減できます。P 11は3Dキャリブレーションとクラスタリングツールを強化しており、基板上の非接触欠陥を正確かつ迅速に特定できます。新しい多周波励起モードにより、優れた再現性と再現性を備えた高解像度イメージングを実現します。さらに、統合された高分解能分光光度計は、複数のプロセスノードとフィーチャーサイズにわたって数百の異なる材料の便利で高精度なスペクトル特性評価を提供します。KLA P11の使いやすく直感的なソフトウェアは、日常の操作を簡単にします。ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスは、すべてのデータを指先で表示するため、ユーザーはウェーハの状態を監視し、必要に応じて適切な対策を講じることができます。KLA P 11にはインテリジェントオートメーションスイートも装備されています。これにより、高いスループット、スループットの向上、および精度の向上が容易になります。高度なレーザーマッピングは、微細なプロセス変動や非接触欠陥を優れた精度で識別するために、静的および動的パターンマッピングの両方に使用されます。P11は、オペレータに最大限の柔軟性を提供するように設計されています。交換可能なウェーハサイズ(最大8インチ)をサポートし、幅広い試験、計測、リソグラフィーシステムで使用できます。TENCOR P11は、ユーザーのパフォーマンス、精度、分析ニーズに合わせて構成できるさまざまなモジュールで構成されています。KLA/TENCOR P-11の包括的な機能により、堅牢で効果的で正確なウェハテストシステムを実現します。ICプロセスの認定と歩留まり向上、信頼性試験、プロセス監視、故障解析、リバースエンジニアリング、計測など、幅広いアプリケーションに適用できます。その高度な計測技術により、試験時間が短縮され、生産歩留まりが向上します。
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