中古 KLA / TENCOR P11 #293809525 を販売中

KLA/TENCOR P11は、テストと計測の両方の機能を統合された単一のプラットフォームに統合したウェハテストおよび計測機器です。このシステムは、ウェハレベルのスクリーニングとリバースエンジニアリングアプリケーション用に設計されています。KLA P-11ユニットは、画像認識技術とパターン認識技術を使用して、ウェーハまたは基板上の欠陥フィーチャーを検出します。また、ウェーハデバイスの電気的および物理的特性を測定し、ダイの位置、欠陥、その他のパラメータの配列に関する情報を提供することもできます。TENCOR P 11は、イメージング、2D測定、臨界寸法（CD）測定、電気試験（電気試験および再試験）、臨界領域解析、高度な欠陥解析など、さまざまな測定技術を使用しています。また、高度な3Dマッピングとプロファイリング機能、および高度な欠陥検出技術も提供しています。KLA/TENCOR P 11分光イメージング技術を使用して、さまざまなタイプの欠陥およびトポロジカル特徴を検出および識別できます。また、CVU、 IVu、 OD測定などのさまざまな非破壊電気試験技術もサポートしています。TENCOR P-11マシンには、ダイオートロケーション用の高度なフィデューシャルアライメントツールが装備されており、アセットの操作を簡素化し、アライメント精度を最大化します。KLA/TENCOR P-11は、4つのリッドサイドウェーハキャリアを備え、1時間あたり最大500ウェーハを処理することもできます。P11の高度な画像解析により、顕微鏡的欠陥、大規模なオープンサイト、傷、その他の地形的欠陥などの迅速な欠陥識別が可能になります。さらに、このモデルには、検査された構造をライブラリに保存されている既知のパターンと比較するための包括的なパターン認識アルゴリズムが含まれています。P-11はまた、平均および標準偏差、最大、最小、ヒストグラム分析などの統計データ分析ツールを提供します。リアルタイムレポートとユーザー定義レポートモジュールにより、傾向と統計に関する詳細な分析を提供します。最後に、TENCOR P11装置は正確な欠陥の局在化のために設計されており、100 um x 100 umの領域で1 umの精度で欠陥を局在させることができます。また、ロボットハンドリングシステム、マルチダイピックアップシステム、自動テストソリューション、および自動計測ソリューションを備えた幅広いオートメーションオプションも提供しています。