中古 KLA / TENCOR P11 #293753932 を販売中
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KLA/TENCOR P11は、ウェーハの信頼性と高スループットのテストと診断を提供するように設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、Si、 SOI、 GaN、 GaAsなどのさまざまなウエハフォーマットをテストおよび診断することができます。このユニットは、製造サンプルの回路性能を検証し、欠陥を検出し、歩留まりの問題を分析するために使用されます。KLA P-11マシンには、AWM (Automated Wafer Mapping)手法に基づいたウェハハンドリングが搭載されています。この自動マッピングツールを使用すると、手動で介入することなく、1つのウェーハスロットから次のスロットに移動するわずか8秒でウェーハアレイ全体を配置できます。このアセットはまた、正確なウェーハ配置と3Dイメージング機能の自動焦点補正により、精度を向上させます。このモデルには、鋭い光学系、高速センサ、および包括的な欠陥データを評価するための精密なレーザーベースの計測システムが装備されています。この装置は高い生産の歩留まりのテストのために設計され、急速で、信頼でき、正確な欠陥の点検、分析および特性化を提供します。光学顕微鏡の設計およびシステムによって使用される高められた照明システムはより高い解像度でウェーハの欠陥のより明瞭さそして細部を提供します。ウエハテスト機能に加えて、TENCOR P 11ユニットには、データを分析およびトレンド化するための高度なソフトウェアツールが含まれています。また、欠陥レビューステーションが含まれており、オペレータは欠陥マップと画像をレビューすることができ、欠陥を迅速に特定、特徴付け、優先順位付けすることができます。KLA P 11ウェーハ試験および計測機械は、高いプロセス歩留まりと信頼性の高い結果を確保しつつ、高速でのウェーハの費用対効果と信頼性の高い試験および診断に理想的なソリューションです。その自動マッピングツール、精密なレーザーベースの計測システム、高度なソフトウェアツール、欠陥レビューステーションは、ウェーハテストおよび計測のすべてのニーズに最高の信頼性とパフォーマンスを提供します。
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