中古 KLA / TENCOR P11 #293662985 を販売中

KLA / TENCOR P11
製造業者
KLA / TENCOR
モデル
P11
ID: 293662985
Surface profiler.
KLA/TENCOR P11は、大量の歩留まり解析およびファブプロセス監視用に設計されたウェハテストおよび計測機器です。このシステムは、最小限の欠陥レベルを確保するために、高度な画像解析技術を使用してウェーハを検査します。これは、イメージング、特性評価、欠陥レビューに最適化されたツール固有の光学および計測コンポーネントを備えています。2X光学および6X計測システムを備えたKLA P-11は、さまざまなウエハ検査アプリケーション向けの強力で汎用性の高いツールです。TENCOR P 11は、大きなサイト密度をサポートするように設計された堅牢で堅牢なガントリー構造を備えています。その信頼性の高いイメージングシステムは、約15秒のサイクルタイムで迅速で欠陥のないウェーハ検査を提供することができます。KLA/TENCOR P-11は、画像処理システムを強化し、高度なアルゴリズムを使用して、従来のシステムでは検出できない微妙な欠陥を検出します。さらに、TENCOR P-11は、高度なオーバーレイ、パターン化されたマスキング、および最適化された欠陥検出のためのフリッカイメージング機能を提供します。P-11はまた、独自のAFM (Atomic Force Microscopy)ユニットをはじめとする高度な計測コンポーネントを搭載しており、ウエハトポロジーを測定するための超高面記録を備えています。KLA/TENCOR P 11の高性能計測機は、特許取得済みの多層輪郭解析技術により、高精度の臨界寸法(CD)測定を実現しています。最後に、P11には、高度な3D欠陥認識アルゴリズムを利用した自動欠陥レビューステーションが含まれ、ウェーハ検査データのレビューと後処理を支援します。全体として、TENCOR P11は、高度なイメージング解析技術、計測コンポーネント、および自動欠陥レビュー機能を搭載した、強力で汎用性の高いウェハテストおよび計測ツールです。信頼性が高く、15秒のサイクルタイムで正確かつ迅速な検査結果を提供します。微妙な欠陥を検出し、比類のない精度でウェーハトポロジを測定し、欠陥レビューを自動化する能力を備えたP 11は、半導体業界で高い生産歩留まりと正確なプロセス監視を実現するための理想的なツールです。
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