中古 KLA / TENCOR P10 #9410939 を販売中

製造業者
KLA / TENCOR
モデル
P10
ID: 9410939
ウェーハサイズ: 8"
Profilometer / Surface profiler, 8" M2 XR Rolling stand Vertical features ranging: 100 A to approximately 300µm Vertical resolution: 0.5, 2, or 10A Micro-roughness: 0.5Å (0.002 min.) Semiconductor wafers Thin-film heads Precision-machined and polished surfaces Ceramics for micro-electronics Glass for flat panel displays Optical surfaces.
KLA/TENCOR P10は、大規模な集積回路(LSIC)、オプトエレクトロニクス、およびMEMSのメーカー向けに特別に設計されたウェハテストおよび計測システムです。KLA P-10は、業界標準の堅牢なコンポーネントを使用して構築され、マルチプローブ構成を使用して、各ウェハを複数のポイントでテストします。イメージングと電気測定を組み合わせた包括的な計測機能を提供します。さらに、トランジスタデバイスのマッピングやその他の表面機能、複数の倍率でのイメージング、アクティブ光学散乱測定(AOS)、フラックス測定、電気的I-V試験など、さまざまな測定機能を提供します。TENCOR P 10のマルチプローブ構成は、ウェーハのさまざまな領域にあるコンポーネントを持つテスト製品において有利です。各ウェーハ側のプローブポイント、および円周に沿って、複数の場所でのテストが可能です。また、TENCOR P-10は、ダイ間およびエッジプロービングオプションの両方で、特定のアプリケーションに応じてプローブの選択肢をユーザーに提供します。2位置機能により、プローブのエッジが測定に与える影響を最小限に抑えます。KLA P 10のイメージング機能には、ゲート遅延回路、接点、特徴、絶縁幅、残留閉塞および漏れ、デラミネーション、カラーコントラスト、表面の高剛性、地形、断面イメージングなど、さまざまな機能があります。オプティカルウェーハインスペクト機能は、ウェーハ形状、平坦度、反り、線幅の正確なイメージングも提供します。さらに、KLA/TENCOR P-10は、アクティブ光学散乱計(AOS)が可能であり、ユーザーはレベルを手動で定義する必要なく、迅速に正確な測定を得ることができます。KLA/TENCOR P 10は、トランジスタ特性評価(I-V)、トランジスタモデリング、DCインピーダンス試験、信頼性試験など、さまざまな電気試験機能も提供しています。これにより、トランジスタを迅速に分析し、信頼性と性能をテストすることができます。さらに、KLA P10には、ナノスケールのデバイスをテストするための低ノイズアンプ/高速システムが搭載されています。これにより、パルスが正確に検出され、より正確な測定が可能になります。結論として、P10は大規模な集積回路(LSIC)メーカーに多くの機能を提供する汎用性の高いウェーハ試験および計測システムです。マルチプローブ構成、イメージングおよび電気測定、フラックス測定、アクティブ光学散乱測定(AOS)などの顧客中心の機能を備えており、品質管理とリアルタイムプロセスフィードバックを向上させます。
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