中古 KLA / TENCOR P10 #9379237 を販売中

KLA/TENCOR P10は、半導体製造のための高スループット、構成可能なアーキテクチャ、および高度なアプリケーションを提供するウェーハ試験および計測機器です。欠陥レビュー、光学CD測定、オーバーレイアライメント、マスク平坦度測定など、包括的なアプリケーションを提供します。高度なスキャンおよび計測技術により、KLA P-10は迅速かつ正確なウェーハ測定を提供します。専用スキャンシステムを搭載し、最大毎秒1000ナノメートルの加速速度で5ナノメートルの振幅分解能でスキャンできます。TENCOR P 10は、個々のお客様の要件やプロセス評価基準に合わせてカスタマイズできるソフトウェアで最大限の柔軟性を提供します。この装置のイメージング機能により、詳細な欠陥特性評価、パターン測定および解析、およびウェーハによる温度測定が可能です。また、広い視野と高解像度の3D断層撮影を備えており、欠陥の詳細な特性評価が可能です。スキャンおよび計測システムのほかに、P 10マシンには事前にプログラムされたアプリケーションのライブラリがあり、粒子沈着、抵抗変化、ガス蓄積、特徴変化などのさまざまなプロセス変動を監視および識別する機能を提供します。洗練されたユーザーフレンドリーなアプリケーションと強力な結果分析により、顧客の歩留まりと信頼性が向上します。KLA P 10の主な特徴は、定期的に資産の環境を監視する組み込みの環境制御ツールです。これは、温度や湿度の変動による外れや誤読みを防ぐのに役立ちます。KLA/TENCOR P 10には、品質保証のための包括的なソフトウェアとアルゴリズムも含まれています。統計解析手法、欠陥識別アプローチ、プロセスバリエーションを認識するためのソフトウェア、測定精度を向上させるためのソフトウェアなど、さまざまなツールを提供しています。P-10モデルはR&Dおよび量産の適用のために適しています。KLA独自のWSAソフトウェア（Wafer Section Analyzer）を搭載しており、高速で正確で繰り返し可能なウェーハ測定を可能にします。幅広い機能を備えたこの装置は、お客様に最高の信頼性と品質管理を提供します。