中古 KLA / TENCOR P10 #9301230 を販売中

KLA/TENCOR P10は、KLA株式会社が開発したウェハテストおよび計測機器です。半導体製造における高度なウェーハ検査および計測用途向けに設計されています。KLA P-10システムは、TENCOR特許取得済みの近距離光学顕微鏡（SNOM）技術を活用して、構造物の精密な測定と欠陥分類を2ミクロンまで可能にします。直径300mmまでのウエハ検査が可能で、10nm程度の欠陥を正確に検出することができます。主成分は高速走査型電子顕微鏡（SEM）ヘッドで、ウェハ表面の高解像度3次元画像を撮影します。SEMヘッドは、顕微鏡に光を供給するTENCOR P 10の光学ユニットに接続されています。光学ユニットは、サーフィシャルイメージングを可能にする高度な照明器と検出器を備えています。このツールで使用される強力な画像処理アルゴリズムは、汚染、エッチング、損傷などの小さな欠陥を特定するのに役立ちます。さらに、この資産は、バンプ、トレンチ、その他の計測機能などのパターンや操作パターンを認識することができます。モデルで使用されるソフトウェアは、ウェーハの状態に関する詳細な情報を提供することを可能にする分析および測定ツールの広い範囲を可能にします。これには、欠陥サイズ解析、オーバーレイおよび寸法測定、トポロジー解析、メトロロジーフィーチャー解析、CD/OCD測定が含まれます。さらに、半自動化された装置は、ウェーハ分析とテストの計画をマッピングし、簡単な操作を可能にします。TENCOR P10機器に含まれるユーザーフレンドリーなソフトウェアにより、セットアップと操作が容易になります。このソフトウェアを使用すると、ユーザーはウェーハ検査および計測用のカスタムレシピを作成し、特定の顧客ニーズに合わせてシステムを構成できます。さらに、ソフトウェアは、データ管理、エラー検出および分析のための包括的なツールのセットを提供しています。結論として、P 10ウェーハテストと計測ユニットは、ウェーハ検査と計測のための高精度、高速、柔軟性を提供する強力なソリューションです。パワフルな画像処理アルゴリズム、照明器具、検出器を活用して、半導体製造プロセスに不可欠な貴重なメトリクスとデータを提供します。