中古 KLA / TENCOR P10 #9293513 を販売中

KLA/TENCOR P10は、微小な試験欠陥の検出を可能にするように設計された高度なウェーハ試験および計測機器です。これにより、物理的なウェーハ特性を高速で正確かつ信頼性の高い測定が可能になります。このシステムは、最新の非接触測定技術と光学測定技術を組み合わせています。半導体デバイス製造、マイクロエレクトロニクス、光学材料加工などの高度なウェハプロセスと測定要件を満たすように設計されています。KLA P-10ユニットは、4つのレベルの高精度および精密測定を提供します。これは、信頼性の高い正確なサンプルインターフェイスを備えており、テスト欠陥の正確なマッピングに役立ちます。このマシンはまた、数ナノメートル以内で正確な高速自動モーションコントロールを提供します。さまざまな光源、複雑なアライメントシステム、レンズ、ミラー、カメラを組み合わせています。これにより、表面プロファイル、線幅、表面欠陥の上下など、幅広い試験特性を正確に測定できます。光学測定のために、TENCOR P 10ツールは、立体顕微鏡、偏光、ミラープロフィロメトリーなど、さまざまなイメージングおよびスキャン技術を利用しています。これらの技術は、ウェーハ表面の詳細画像を生成するために洗練された機器を使用しています。アセットには高精度の電動回転ステージも装備されており、選択した角度でサーフェスを正確に測定できます。KLA P 10モデルは、幅広いウェハテストおよび計測アプリケーションに使用できます。故障解析、集積回路の特性評価、ICのオーバーレイのアライメント、光センサシステムの特性評価などがあります。さらに、高精度の信号対雑音比を備えた高解像度デジタルイメージングを提供しており、ウェハの微細な表面や特徴の詳細を検査するのに非常に役立ちます。これは、小さな欠陥の検出と分析、およびテストパターンのマッピングに役立ちます。全体として、P 10ウェーハ試験および計測システムは、試験欠陥の正確な検出とウェーハの物理的特性の測定のための強力で信頼性の高いツールです。最新の技術と高精度・高精度を組み合わせ、高品質な結果を保証します。