中古 KLA / TENCOR P10 #9243616 を販売中
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KLA/TENCOR P10ウェハテストおよび計測機器は、半導体業界のニーズに合わせて設計された自動測定ソリューションです。このシステムは、多くのプロセス工程にわたって、ウェーハの高速、正確、再現性の高い測定を提供するように設計されています。直径200mmまでのウェーハ測定が可能で、GaAsとSiウェーハの両方の加工に最適です。KLA P-10の主要コンポーネントには、スキャンステージ、照明源、検出器、解析ソフトウェア、精密マニピュレータがあります。スキャンステージは、広い視野にわたって高速スキャンを提供するように設計されており、高速かつ正確な測定を可能にします。照明源は、ウェーハ表面全体に均一な照明設定を提供する強力なキセノンランプで構成されています。この検出器は、照射されたウェーハからの熱放射を検出するように設計されており、測定の精度を高めることができます。分析ソフトウェアはユーザーフレンドリーで、ユーザーはウェーハの欠陥をすばやく特定し、適切な是正措置を講じることができます。最後に、精密マニピュレータを使用すると、分析と測定に適した位置にウェーハを移動できます。TENCOR P 10は、高速で自動化されたガント操作と、ウェーハの表面を素早く分析するために設計されたさまざまなツールを使用して、より高い生産性と精度を提供します。さらに、自動粒子検出機能とCCDチェックリストを活用して精度を向上させ、複雑な欠陥をすばやく特定することができます。KLA/TENCOR P-10ユニットはまた、ユーザーがさまざまな敵対的な環境で測定を行うことを可能にする統合された温度および圧力制御を提供します。温度と圧力を正確に監視することができ、各ウェーハは常に最適な条件で測定されます。P10は、ウェーハの高速、正確、再現性のある測定を提供するように設計されています。自動計測プラットフォームと高度な照明および検出技術を組み合わせ、効率と精度を向上させます。このマシンは、生産性の向上、測定の精度の向上、およびユーザーが最も敵対的な環境でも測定を行うことができる統合された温度および圧力制御を提供します。
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