中古 KLA / TENCOR P10 #9233591 を販売中

KLA/TENCOR P10は、ハイスループットウェーハ測定および欠陥検査用に設計されたウェーハ試験および計測機器です。3次元イメージング技術により、KLA P-10は、高さ、抵抗、組成、微小欠陥などの測定を含む薄膜構造の正確な表面および深度解析を提供できます。このシステムは、特許取得済みの形状ベースの欠陥検出アルゴリズムを使用して、困難なパターニングプロセスでも小さな不規則性を検出します。TENCOR P 10は、フットプリントを最小限に抑えたコンパクトな設計で、最大300mmまでのウエハに対応できます。1時間あたり最大300個のウェーハ測定が可能で、ハイスループットのウェーハ製作に最適です。KLA P10には、3次元データ表示、3Dオーバーレイ解析、オーバーレイエラーマップなど、さまざまな高度な解析機能が搭載されています。このデータを使用して、線幅などの高倍率結果を素早くゲル化し、リソグラフィのプロセスを特性化および監視することができます。P 10はまた、計測結果の精度を向上させるための多くの機能を提供しています。このマシンは、自動焦点調整を使用して、データ収集ポイントが一貫して正確であることを保証します。さらに、OptiChartソフトウェアを使用すると、パターンセグメンテーションと欠陥の自動マッピングが可能になり、必要に応じて手動で再検査することもできます。また、TENCOR P-10は非破壊の臨界寸法測定ツールを備えており、抵抗率、組成などを正確に測定できます。このアセットには、熱効果とトポロジーの影響を相殺するドリフト補償ソフトウェアも搭載しています。KLA/TENCOR P-10は汎用性の高いモデルで、多くのベンチマークと分析機能を提供します。その卓越した低コスト所有と幅広い機能により、半導体製造および材料分析に最適です。P10は、今日のウェーハ製造環境における精密測定および欠陥検査に理想的な選択肢です。