中古 KLA / TENCOR P10 #9215072 を販売中

KLA/TENCOR P10ウェハテストおよび計測機器は、製造プロセス全体で最高レベルの精度、精度、再現性を提供するように設計されています。このシステムは、自動化された環境でのウェーハ検査および計測用に設計されています。KLA P-10は、特定のプロセスであらゆるウェーハをテストできる完全自動化ユニットです。高性能オプティカルマシン、高精度ソフトウェアスイート、完全に自動化された操作ツールが含まれており、ウェーハ全体の機能と欠陥を迅速かつ正確に測定できます。このアセットは、ウェハレベルの均一性、厚さ、および線幅を測定する際に、最高の解像度と再現性、および最小の可変性を提供します。高性能な光学モデルは、より高い信号をノイズ比、より高い速度と精度、および画像整合性を向上させることにより、機器の効率を最大限に高めるように設計されています。この光学系は、10nmの細線を持つアスペクト比の高いウェーハなど、さまざまなウェーハおよび平面レイアウトに最適化されています。精密ソフトウェアスイートは、エンジニアリング、計測、およびプロセス開発のための柔軟で洗練されたウェハテストツールを提供します。CADベースのウェーハ仕様、画像品質評価のための各種アルゴリズム、計測結果とプロセス結果の相関などが含まれています。ソフトウェアスイートでは、同じ領域の2番目のイメージマップを作成して、追加の特性評価とプロセスステップとの相関を作成することもできます。TENCOR P 10は完全に自動化された操作システムによって制御され、ステージ上にウェーハを迅速かつ正確に再現可能に配置できます。これには、信頼性の高いモーションコントロール、クローズドループのサンプル転送ユニット、および独立したサンプル操作機能が含まれています。このマシンは、ベンチトップから本格的な製造まで、幅広いアプリケーションと環境に対応できるように設計されています。全体として、P 10ウェハテストおよび計測ツールは、ウェハテストおよび計測環境において可能な限り最高レベルの精度、再現性、精度を提供するように設計されています。高度な光学アセット、洗練されたソフトウェアスイート、オートメーション機能が組み合わさり、さまざまなウェーハパラメータと欠陥を迅速かつ正確に測定できるモデルを作成します。