中古 KLA / TENCOR P10 #9197218 を販売中

KLA/TENCOR P10は、半導体産業の先進的かつ包括的なウェーハ試験および計測機器です。マルチサイトウェーハ検査用に設計されており、重要なプロセス層での再現性と信頼性の高い測定とサイジングを提供します。KLA P-10システムには、検査、特性評価、および計測機能の完全なスイートが組み込まれています。このユニットは、デバイス構成と正確な測定を迅速にセットアップするための高速で正確なウェーハステージを備えています。これは、非常に柔軟性の高い光学レイアウトと組み合わせることで、非常に広い範囲のアプリケーションを可能にします。直感的なユーザーインターフェイスにより、マシンの実装と使用が簡素化され、生産性とプロセスの再現性が向上します。このツールは、スケーラブルな実装と成長のために設計されています。最大10個のプロセスおよび計測ツールと16台のカメラを統合し、資産効率を向上させることができます。モジュラーアーキテクチャにより、カスタマイズされたアプリケーション用のサードパーティ製ハードウェアおよびソフトウェアパッケージの追加も可能です。TENCOR P 10モデルには、自動化されたフィーチャー認識機能と分類機能が含まれており、複数のウェーハ間で異常およびプロセス関連の機能を検出できます。三次元画像処理技術を用いた高度な新しい欠陥検出アルゴリズムを搭載し、比類のない精度でウェーハ表面の垂直地形を測定することができます。その後、このイメージング装置から収集されたデータを使用して、さらなる計測抽出と分析を行うことができます。KLA P10には、包括的な欠陥検出用の統合欠陥マップ機能が含まれています。機能の誤った分類を防ぐために、複数の角度からパターンを測定し、ウェーハパス/フェイルレートを改善します。また、寸法データ抽出用のオートフォーカスユニットを内蔵し、検査速度を向上させています。KLA/TENCOR P-10の柔軟な機械設計は、幅広い工場オートメーションオプションとの互換性を提供します。顧客の生産管理システムとシームレスに統合し、頻繁かつ正確な測定を実現します。また、強力なネットワーキング機能を提供し、生産ツールとKLAファクトリーオートメーションソリューション間の効率的な通信を確保します。全体として、KLA/TENCOR P 10は、半導体産業のための高度で信頼性が高く、直感的なウェーハ試験および計測資産です。幅広い機能セットと統合されたオートメーション機能により、P10はプロセスレイヤー全体で効率的かつ正確な測定を保証し、歩留まりとプロセスの再現性を向上させます。