中古 KLA / TENCOR P10 #293755051 を販売中

KLA/TENCOR P10は、半導体製造および分析用に設計されたウェハテストおよび計測機器です。これは、高度なプロセスのための生産試験とインライン計測分析の両方が可能です。KLA P-10は、2つの高速ウェハマッピングカメラを使用して、ウェハ表面から幾何学的情報をキャプチャします。このデータは解析され、高効率なデータベースに保存されるため、単一のウェーハから複雑な測定を行うことができます。生産試験では、TENCOR P 10を使用してウェーハの欠陥を検出および分類することができます。このシステムは、マイクロクラック、ピット、ワイヤーショーツなどの小さな欠陥を検出することができます。また、ウェーハの表面粗さ、線幅、臨界寸法、および地形を測定することもできます。これらの測定は、プロセスパラメータを最適化し、製品の品質を保証するために使用されます。インラインメトロロジー解析のために、P 10はウェーハの厚さ、均一性、および抵抗性を測定することができます。また、個々の層の深さ、および層の組成を測定することもできます。これにより、ユーザーはデバイスのウエハプロファイルを分析し、最終製品に対する特定のプロセスの影響を視覚化することができます。TENCOR P-10ユニットは、オペレータのジョブを簡素化するさまざまな自動化された機能も提供します。自動アライメント、自動プロファイル生成、オートフォーカス、自動ウェハマッピングなどがあります。また、このマシンは高度にカスタマイズ可能であり、オペレータは自分のプロセスに最も適したハードウェアとソフトウェアを構成することができます。結論として、TENCOR P10は、生産試験とインライン計測解析の両方を可能にする強力なウェハテストおよび計測ツールです。その高度な機能により、ハイエンドの半導体製造および分析アプリケーションに最適です。自動化された機能、構成可能なハードウェアとソフトウェア、操作の容易さにより、プロセスの品質と歩留まりを向上させたい人に最適です。