中古 KLA / TENCOR P10 #293751600 を販売中

KLA/TENCOR P10は、半導体ウェーハの品質、性能、信頼性を費用対効果の高い方法で向上させるために設計された多機能ウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、幅広い高度なツール特性評価機能を提供し、300mmウェーハの検査および測定に使用されます。このユニットは、4つのツール構成の選択肢を提供し、高度な高速光検査アルゴリズム、自動調整可能な波長分光楕円測定、2Dおよび3D欠陥イメージング、インテリジェンスパターン認識、プロセス制御を備えています。このマシンはまた、精密な表面特性評価のための自動および高精度の3Dサーフェス測定機能を提供します。KLA P-10は最高の温度制御および均等性のための密封されたウェーハの部屋を特色にします。水素化されたClass 00および100の層流構成により、高スループットのウェーハ試験と計測性能が保証されます。光発光、二次電子イメージング、光放射分光法（OES）、 X線光電子分光法（XPS）、走査型電子顕微鏡（SEM）など、さまざまな物理的および化学的試験機能がサポートされています。このツールは、インテリジェントな両面測定機能を備えており、両側からの同時サンプルテストを可能にします。また、サンプルの自動調製と処理もサポートしているため、効率的でエラーのないサンプル調節が可能です。この資産には、自動テストプログラム実行のためのライブラリインターフェイスと、さらなる分析のための結果取得が含まれています。このモデルはまた、機器の性能に影響を与えることなく、同時計測とテストを可能にするユニークなアリビモードを提供します。TENCOR P 10用の堅牢な機能とオプションのアクセサリにより、さまざまな自動テストプロセスに適しています。また、他の既存の工具や生産ラインと容易に統合され、より効率的で統合された製造プロセスを可能にします。