中古 KLA / TENCOR P10 #293751408 を販売中

KLA/TENCOR P10はウェハテストおよび計測機器です。KLA P-10は、高度なウェーハ検査および計測技術を備えており、コスト削減と製品品質向上を目指す半導体メーカーに最適な選択肢となっています。TENCOR P 10は、ウェーハトポグラフィ、臨界寸法（CD）測定、マルチパターンオーバーレイ、イメージング、欠陥検出など、ウェーハ検査および計測機能を幅広く提供します。最大300mmのウェーハの検査と測定が可能で、スループットは毎時200ウェーハ（wph）までです。TENCOR P-10には、高度な専用ハードウェアコントローラ（ASPC）や自動ウェハハンドリングシステム（AWHS）などの高度なオートメーションシステムが装備されています。統合されたウェーハマッピングとマルチビューメトロロジー（MVM）ユニットにより、ウェーハトポロジーの完全な特性評価と高精度なCD測定が可能です。P10は、包括的な画像処理機を提供しています。5nmを超える解像度で高速な画像取得と正確な欠陥特性評価を実現します。高度なデジタルシグナルプロセッサ（DSP）は、各ウェーハの精密かつ正確な試験制御を保証するために、電気測定値をキャプチャします。TENCOR P10には、重要なパラメータに従って自動的に欠陥分類を実行できる統合欠陥レビューツールもあります。このアセットにより、製品およびバッチ間で追跡可能なインテリジェントな欠陥処分の意思決定が可能になります。全体として、KLA P10は、ウェーハトポロジの特性評価と信頼性の高い欠陥レビューを提供する、汎用性と精密なウェーハテストおよび計測モデルです。その高度な技術とオートメーション機能は、製造品質の向上とコストの削減を目指す半導体メーカーにとって最適な選択肢です。